Муза Михайло Анатолійович

Матеріал для виготовлення тонкоплівкових резисторів

Завантаження...

Номер патенту: 11185

Опубліковано: 25.12.1996

Автори: Куделін Юрій Васильович, Усенко Ніна Миколаївна, Гончаров Олександр Андрійович, Ігнатенко Петро Іванович, Соколова Ірина Василівна, Муза Михайло Анатолійович

МПК: H01C 7/00

Мітки: виготовлення, матеріал, резисторів, тонкоплівкових

Формула / Реферат:

(57) Материал для тонкопленочных резисторов, содержащий твердый раствор на основе дисилицида хрома и дисилицида никеля, отличающийся тем, что он дополнительно содержит нитрид кремния при следующем соотношении компонентов, мас. %: дисилицид никеля 19-20 нитрид кремния 3-6 дисилицид хрома остальное.