Вакуумна камера для вакуумного плазмового азотування металевих деталей

1. Вак уумна камера для вак уумно го плазмово го аз о тування ме талеви х де тале й, що містить корпус з кришкою та дном, в якому встановлені пристрій для підвішування деталі, захисний екран, що о хоплює згаданий пристрій, герметичний ввід для підключення деталі до джерела електричного стр уму і те хнологічні штуцери для ві дка чування п о ві тря з пор ожнини вак уумн о ї каме ри та п ода вання ак ти вн и х 3 29008 для закріплення у ньому підвісу для утримування деталі, виготовленого у вигляді прута. Особливістю пропонованої вакуумної камери є i те, що пристосування для підвішування деталі забезпечено пристроєм для регулювання висоти підвішування утримуваної деталі. Роз'ємний диск може бути виготовлений iз фторопласту. Пропонована конструкція дозволяє суттєво зменшити термічні навантаження, що виникають у пристосуванні під час роботи камери, оскільки у роз'ємному диску, виготовленому з термостійкого пластичного електроізоляційного мaтepiaлу, компенсуються такі навантаження за рахунок його пружного деформування. Суть пропонованої конструкції пояснена на кресленнях. На Фіг.1 - схематично показано конструкцію вакуумної камери для вакуумного плазмового азотування металевих деталей. На Фіг.2 - схематично показано конструкцію пристосування для підвішування деталі у порожнині вакуумної камери для вакуумного плазмового азотування металевих деталей. Пропонована вакуумна камера для вакуумного плазмового азотування металевих деталей, включає корпус 1 з кришкою 2 та дном 3. В порожнині вакуумної камери встановлено пристосування для підвішування деталі, виконане у вигляді основи 4, призначеної для її жорсткого закріплення у порожнині вакуумної камери i яка складається з двох трубок діаметром 15-50мм (діаметр трубок визначається в залежності від навантаження) та металевих перетинів, призначених для її жорсткого закріплення у порожнині вакуумної камери. На основі 4 горизонтально встановлено роз'ємний диск 5, виготовлений з термостійкого пластичного електроізоляційного матеріалу - фторопласту, в якому з боку торцевої поверхні виконаний радіальний отвір 6, призначений для підключення металевої деталі 7 до джерела електричного струму /не показано/ i наскрізний осьовий отвip 8, призначений для закріплення у ньому підвісу 9 для утримування металевої деталі, виготовленого у вигляді прута. На диску 5 встановлено також пристрій для регулювання висоти підвішування утримуваної металевої деталі 7, виготовлений у виглядi гвинтового механізму /не показано/. У порожнині корпуса 1 встановлено i захисний екран 10, що охоплює підвіс 9 з утримуваною металевою деталлю 7. Вакуумна камера забезпечена герметичним вводом 11 для підключення металевої деталі 7 до джерела електричного струму i те хнологічні штуцери для відкачування повітря з порожнини вакуумної камери та подання активних газів 13 (умовно показаний один). Пропоновану вакуумну камеру для вакуумного плазмового азотування металевих деталей використовують таким чином. Попередньо деталь 7, поверхню якої передбачено азотува ти, ретельно миють, знежирюють i висушують. Потім її підвішують на підвісі 9 i за допомогою пристрою для регулювання задають висоту підвішування 4 утримуваної металевої деталі 7. Герметизують корпус 1. Через відповідний штуцер 13 відкачують повітря з вакуумной камери до вакуум у 1 x10-1 1х10-4мм. рт.ст. Подають електричні потенціали на металеву деталь 7 та на захисний екран 10, виконують нагрівання деталі 7 i її іонне очищування. Потім подають до порожнини вакуумної камери активний газ - азот i виконують вакуумне плазмове азотування металевої деталі 7. Під час вакуумного плазмового азотування металевої деталі 7 рівень термічних навантажень, що виникають у пристосуванні для підвішування деталі, суттєво зменшується порівняно iз прототипом, оскільки у роз'ємному диску 5, виготовленому з термостійкого пластичного електроізоляційного матеріалу, компенсуються такі навантаження за рахунок його пружного деформування.