Віттіх Йорг

Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 107217

Опубліковано: 10.12.2014

Автори: Хотц Йюрген, Сесерко Павел, Віттіх Йорг, Ріт Вольфганг, Кіршнер Манфред, Еберхардт Хельмут

МПК: C23C 14/30, C23C 14/24, H01J 37/305 ...

Мітки: осадження, пристрій, вкривання, нанесення, електронно-променевого, парової, застосуванням, субстратів, способу, фазі, допомогою

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...