Віттіх Йорг

Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 107217

Опубліковано: 10.12.2014

Автори: Ріт Вольфганг, Еберхардт Хельмут, Віттіх Йорг, Кіршнер Манфред, Хотц Йюрген, Сесерко Павел

МПК: H01J 37/305, C23C 14/30, C23C 14/24 ...

Мітки: пристрій, застосуванням, способу, вкривання, субстратів, фазі, нанесення, осадження, електронно-променевого, допомогою, парової

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...