Віллен Вілліам Сез

Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття конденсацією із парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 71924

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: Рігні Девід Вінсент, Лагеманн Кристофер Лі, Вортмен Девід Джон, Бетшер Кейт Хамфріс, Марікоккі Антоніо Френк, Брюс Роберт Вілліам, Віллен Вілліам Сез, Еванс Джон Дуглас Ср., Вігв'є Рудольфо

МПК: C23C 14/54, H01J 37/30, C23C 14/30 ...

Мітки: парової, фазі, нанесення, пристрій, електронно-променевий, покриття, конденсацією

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера виконана з можливістю функціонування в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву гармату (30) для проеціювання електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), причому функція...

Електронно-променевий пристрій для нанесення покриття на вироби конденсацією із парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 71572

Опубліковано: 15.12.2004

Автори: Рігні Девід Вінсент, Еванс Джон Дуглас, старший, Вортмен Девід Джон, Марікоккі Антоніо Френк, Брюс Роберт Вілліам, Вігв'є Рудольфо, Віллен Вілліам Сез

МПК: C23C 14/30, C23C 14/56, C23C 14/24 ...

Мітки: електронно-променевий, конденсацією, пристрій, фазі, покриття, парової, нанесення, вироби

Формула / Реферат:

1. Електронно-променевий пристрій (10) для нанесення покриття на вироби (20) конденсацією із парової фази, який включає: покривну камеру (12), що містить покривний матеріал (26), причому покривна камера (12) функціонує в умовах підвищеної температури та субатмосферного тиску, електронно-променеву пушку (30) для проектування електронних променів (28) на покривний матеріал (26), розташований в покривній камері (12), тигель (56), який підтримує...