Віам Хью

Поділ модульного пристрою для нанесення покриття

Завантаження...

Номер патенту: 112300

Опубліковано: 25.08.2016

Автори: Віам Хью, Лекомт Бенуа, Йонемічі Томохіро

МПК: C03C 17/00, C23C 16/54, C23C 14/56 ...

Мітки: покриття, пристрою, модульного, поділ, нанесення

Формула / Реферат:

1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...