Щелкалін Віталій Миколайович

Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі

Завантаження...

Номер патенту: 93940

Опубліковано: 25.03.2011

Автори: Тевяшев Андрій Дмітрієвич, Щелкалін Віталій Миколайович, Суздаль Віктор Семенович, Будаковський Сергій Валентинович, Козьмін Юрій Семенович, Єпіфанов Юрій Михайлович

МПК: G05D 27/00, C30B 15/20

Мітки: вирощування, пристрій, монокристалів, ампулі, розплаву

Формула / Реферат:

Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі, що містить двозонну вертикальну піч, яка має дві камери з нагрівачами, кільцеву діафрагму, ампулу із речовиною, що кристалізується, у вигляді циліндра з конічним дном, механізм переміщення ампули у вертикальному напрямку із двигуном і приводом її переміщення, термопари й відліковий пристрій величини переміщення ампули, який відрізняється тим, що термопари встановлені на нагрівачах...