Щелкалін Віталій Миколайович

Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі

Завантаження...

Номер патенту: 93940

Опубліковано: 25.03.2011

Автори: Будаковський Сергій Валентинович, Щелкалін Віталій Миколайович, Єпіфанов Юрій Михайлович, Тевяшев Андрій Дмітрієвич, Суздаль Віктор Семенович, Козьмін Юрій Семенович

МПК: G05D 27/00, C30B 15/20

Мітки: ампулі, розплаву, монокристалів, вирощування, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для вирощування монокристалів з розплаву в ампулі, що містить двозонну вертикальну піч, яка має дві камери з нагрівачами, кільцеву діафрагму, ампулу із речовиною, що кристалізується, у вигляді циліндра з конічним дном, механізм переміщення ампули у вертикальному напрямку із двигуном і приводом її переміщення, термопари й відліковий пристрій величини переміщення ампули, який відрізняється тим, що термопари встановлені на нагрівачах...