Рижикова Марина Георгіївна

Пристрій регулювання росту монокристалів та пристрій діагностування для нього

Завантаження...

Номер патенту: 86105

Опубліковано: 25.03.2009

Автори: Герасимчук Лариса Іванівна, Дербунович Леонід Вікторович, Бережна Марина Анатоліївна, Суздаль Віктор Семенович, Єпіфанов Юрій Михайлович, Рижикова Марина Георгіївна

МПК: G05D 27/00, C30B 15/20, G06F 11/28 ...

Мітки: нього, росту, діагностування, монокристалів, регулювання, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для регулювання росту монокристалів, який містить підживлювач із транспортною трубкою, вимірювач положення рівня розплаву, блок керування переміщенням кристалотримача, блоки корекції температури донного і бічного нагрівачів, обчислювальний блок, ростову піч, тигель з кільцевою порожниною, донний і бічний нагрівачі, при цьому виходи обчислювального блока з'єднані, відповідно, із блоком керування переміщенням кристалотримача,...