Рижикова Марина Георгіївна

Пристрій регулювання росту монокристалів та пристрій діагностування для нього

Завантаження...

Номер патенту: 86105

Опубліковано: 25.03.2009

Автори: Суздаль Віктор Семенович, Бережна Марина Анатоліївна, Дербунович Леонід Вікторович, Герасимчук Лариса Іванівна, Рижикова Марина Георгіївна, Єпіфанов Юрій Михайлович

МПК: G05D 27/00, G06F 11/28, C30B 15/20 ...

Мітки: регулювання, пристрій, нього, діагностування, монокристалів, росту

Формула / Реферат:

1. Пристрій для регулювання росту монокристалів, який містить підживлювач із транспортною трубкою, вимірювач положення рівня розплаву, блок керування переміщенням кристалотримача, блоки корекції температури донного і бічного нагрівачів, обчислювальний блок, ростову піч, тигель з кільцевою порожниною, донний і бічний нагрівачі, при цьому виходи обчислювального блока з'єднані, відповідно, із блоком керування переміщенням кристалотримача,...