Повстяний Володимир Григорович

Пристрій для вирощування монокристалів кремнію, екрануючий пристрій для нього і спосіб вирощування монокристалів кремнію за методом чохральського

Завантаження...

Номер патенту: 72795

Опубліковано: 15.04.2005

Автори: Повстяний Володимир Григорович, Берінгов Сергій Борисович, Куликовський Едуард Володимирович, Шульга Юрій Григорович

МПК: C30B 35/00, C30B 15/02

Мітки: екрануючий, монокристалів, чохральського, пристрій, вирощування, нього, спосіб, методом, кремнію

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вирощування монокристалів кремнію за методом Чохральського, який включає камеру вирощування монокристала з розташованим у ній тиглем для одержання розплаву і витягування з розплаву монокристала кремнію і екрануючий пристрій, розташований співвісно вирощуваному монокристалу, який відрізняється тим, що екрануючий пристрій виконано у вигляді подвійного екрана - внутрішнього і зовнішнього, при цьому зовнішній екран має форму, що...

Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель

Завантаження...

Номер патенту: 46145

Опубліковано: 15.05.2002

Автори: Повстяний Володимир Григорович, Клевець Сергій Григорович, Берінгов Сергій Борисович, Маковський Валерій Георгієвич, Куликовський Едуард Володимирович, Шульга Юрій Григорович

МПК: C30B 15/02

Мітки: повторного, матеріалу, тигель, завантаження, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для повторного завантаження матеріалу в тигель, що включає резервуар, підтримуючі елементи, розташовані в нижньому торці резервуара, і вузол кріплення резервуара до механізму переміщення, який відрізняється тим, що додатково містить фіксуюче кільце, що розташовано зовні резервуара і жорстко зв'язано з ним, при цьому резервуар постачено днищем, що відчиняється, а вузол кріплення резервуара виконано у вигляді послідовно з'єднаних...