Плахотнюк Максим Миколайович

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках

Завантаження...

Номер патенту: 46501

Опубліковано: 25.12.2009

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: H01L 21/00

Мітки: довжини, неосновних, носіїв, напівпровідниках, заряду, дифузійної, мікроелектронний, пристрій, визначення

Формула / Реферат:

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках, який містить лазерне джерело світла, розташоване над діафрагмою та оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючих лінз, а також з джерела живлення і системи контактів, з'єднаних із зразком, та паралельно з'єднаних з опором навантаження, який відрізняється тим, що в нього введено блок обробки та індикації сигналу,...

Мікроелектронний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників

Завантаження...

Номер патенту: 43410

Опубліковано: 10.08.2009

Автори: Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Плахотнюк Максим Миколайович

МПК: H01L 21/70

Мітки: оптично, напівпровідників, пристрій, прозорих, контролю, параметрів, мікроелектронний

Формула / Реферат:

Мікроелектроний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників, який містить джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, джерело живлення і систему контактів, з'єднаних із зразком, який відрізняється тим, що в нього введено мікроелектронний частотний перетворювач, що містить дільник напруги з двох резисторів, польовий та біполярний транзистори, індуктивність, ємність, резистор і два джерела постійної напруги,...

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова

Завантаження...

Номер патенту: 22675

Опубліковано: 25.04.2007

Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/306

Мітки: олова, оксиду, плівок, травлення, індію, оптично, плазмового, прозорих, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту та інертного газу-носія аргону, який відрізняється тим, що як основний газ-реагент використовують тетрахлорид вуглецю, процес травлення здійснюють за рахунок взаємодії з поверхнею плівок оксиду...