Плахотнюк Максим Миколайович

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках

Завантаження...

Номер патенту: 46501

Опубліковано: 25.12.2009

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Плахотнюк Максим Миколайович

МПК: H01L 21/00

Мітки: дифузійної, носіїв, мікроелектронний, напівпровідниках, довжини, неосновних, визначення, пристрій, заряду

Формула / Реферат:

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках, який містить лазерне джерело світла, розташоване над діафрагмою та оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючих лінз, а також з джерела живлення і системи контактів, з'єднаних із зразком, та паралельно з'єднаних з опором навантаження, який відрізняється тим, що в нього введено блок обробки та індикації сигналу,...

Мікроелектронний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників

Завантаження...

Номер патенту: 43410

Опубліковано: 10.08.2009

Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: H01L 21/70

Мітки: параметрів, оптично, контролю, мікроелектронний, пристрій, прозорих, напівпровідників

Формула / Реферат:

Мікроелектроний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників, який містить джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, джерело живлення і систему контактів, з'єднаних із зразком, який відрізняється тим, що в нього введено мікроелектронний частотний перетворювач, що містить дільник напруги з двох резисторів, польовий та біполярний транзистори, індуктивність, ємність, резистор і два джерела постійної напруги,...

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова

Завантаження...

Номер патенту: 22675

Опубліковано: 25.04.2007

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Плахотнюк Максим Миколайович

МПК: H01L 21/306

Мітки: індію, олова, плазмового, оксиду, травлення, плівок, оптично, прозорих, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб плазмового травлення оптично прозорих плівок оксиду індію та олова, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту та інертного газу-носія аргону, який відрізняється тим, що як основний газ-реагент використовують тетрахлорид вуглецю, процес травлення здійснюють за рахунок взаємодії з поверхнею плівок оксиду...