Писаревський Володимир Костянтинович

Спосіб зниження концентрації акцепторів у власнодефектних кристалах

Завантаження...

Номер патенту: 99369

Опубліковано: 10.08.2012

Автори: Писаревський Володимир Костянтинович, Морозов Леонід Михайлович, Коман Богдан Петрович

МПК: C30B 19/00, C30B 25/00, H01L 21/02 ...

Мітки: акцепторів, зниження, концентрації, власнодефектних, спосіб, кристалах

Формула / Реферат:

Спосіб зниження концентрації акцепторів у власнодефектних кристалах, за яким кристали вирощують вертикальним способом Бріджмена або способом твердотільної рекристалізації, який відрізняється тим, що з вирощеного кристала вирізають середню частину, отримані злитки розрізають на зразки у формі паралелепіпедів з розмірами  мм, які механічно шліфують і хімічно полірують у...

Спосіб одержання епітаксійних шарів

Завантаження...

Номер патенту: 96837

Опубліковано: 12.12.2011

Автори: Морозов Леонід Михайлович, Кавич Володимир Йосипович, Писаревський Володимир Костянтинович

МПК: C23C 14/24, B23K 26/06, C23C 16/00 ...

Мітки: спосіб, шарів, епітаксійних, одержання

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання епітаксійних шарів, в якому підігрівають підкладку та мішень, випаровують матеріал мішені, транспортують пару та конденсують на підкладку у вакуумній камері, який відрізняється тим, що попередньо підготовлені підкладку та мішень розміщують на відстані 50±5 мм у вакуумній камері з тиском 10-5-10-7 Па, після чого підкладку підігрівають до температури 180-250 °С зовнішнім нагрівачем, а мішень нагрівають імпульсним лазерним...