Пилипенко Олександр Якимович

Спосіб одержання наночастинок системи метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 64934

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: Пилипенко Олександр Якимович, Кошик Леонід Іванович

МПК: C23C 14/32, C23C 14/24, C23C 14/06 ...

Мітки: системі, випаровуванням, наночастинок, спосіб, вакуумі, метал-кисень, одержання, заданим, складом, конденсацією, електронно-променевим

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання наночастинок систем метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумній камері, який включає нагрівання та випаровування у вакуумі твердого вихідного матеріалу з групи, що включає метали або їхні сплави, і твердого матеріалу носія із щонайменше двох окремих ємностей, підтримання температури підкладки, здійснення дозованої подачі кисню або кисневмісних газів або парів або їхніх...