Перекрестов В’ячеслав Іванович

Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію

Завантаження...

Номер патенту: 95509

Опубліковано: 25.12.2014

Автори: Корнющенко Ганна Сергіївна, Наталіч Вікторія Вадимівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: H01L 21/20

Мітки: спосіб, алюмінію, отримання, анодно-окисленого, конденсатів, нанопор

Формула / Реферат:

Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3, який відрізняється тим, що формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини, при цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких...

Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки

Завантаження...

Номер патенту: 92525

Опубліковано: 10.11.2010

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Мокренко Олександр Анатолійович

МПК: H01J 27/02, C23C 14/24, C23C 14/35 ...

Мітки: нанесення, речовин, вакуумі, металів, покриттів, пристрій, розпилювальний, надпоруватих, плоскі, слабколетких, підкладки

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 37359

Опубліковано: 25.11.2008

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Мокренко Олександр Анатолійович, Дьошин Борис Вікторович, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: пристрій, вакуумі, нанесення, покриттів

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в...

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.07.2008

Автори: Корнющенко Ганна Сергіївна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/22, C23C 14/35, C23C 14/34 ...

Мітки: шарів, матеріалів, спосіб, надпоруватих, електропровідних, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів, який включає перехід речовини з конденсованого стану в стан пари і конденсацію на підкладку за умов наближення до фазової рівноваги системи пара-конденсат при відповідних підвищених температурах осадження, який відрізняється тим, що пари речовини іонізують і конденсацію проводять на підкладку, до якої підводять від'ємний потенціал, та на поверхню росту кристалу діють потоком...

Пристрій для формування вакуумних конденсатів

Завантаження...

Номер патенту: 80775

Опубліковано: 25.10.2007

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Корнющенко Ганна Сергіївна, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: пристрій, конденсатів, формування, вакуумних

Формула / Реферат:

Пристрій для формування вакуумних конденсатів, що містить анод, за який використані стінки робочої камери, охолоджуваний водою катодний вузол циліндричної форми, який складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені і магнітної системи у вигляді постійних магнітів, які забезпечують формування необхідної конфігурації магнітного поля безпосередньо над поверхнею розпилювальної мішені, та підкладку, який...

Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 76257

Опубліковано: 17.07.2006

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: пристрій, розпилювальний, нанесення, вакуумі, покриттів

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді немагнітного герметичного циліндричного корпусу, розташований співвісно аноду пустотілий катод з корпусом у вигляді зрізаного конуса, а також встановлену всередині немагнітного герметичного циліндричного корпусу анода водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного циліндричного постійного магніту, до торця якого приєднаний фокусуючий...

Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 69974

Опубліковано: 15.09.2004

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Побєдін Олександр Юрійович

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, покриттів, пристрій, вакуумі, розпилювальний

Формула / Реферат:

Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми,...

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 69723

Опубліковано: 15.09.2004

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: вакуумі, пристрій, покриттів, нанесення

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, який містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, а також водоохолоджувану магнітну систему, що складається з однієї секції постійного магніту, причому анод має герметичний корпус у вигляді пустотілого, виконаного з немагнітного матеріалу циліндра з нижньою частиною у вигляді зрізаного конусу, і магнітна система розташована у нижній частині циліндричного корпусу анода, а до торцевої...

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 57952

Опубліковано: 15.07.2003

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна, Погребняк Олександр Дмитрович

МПК: C23C 14/35

Мітки: покриттів, вакуумі, пристрій, нанесення

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого, виконаного з немагнітного матеріалу циліндра, нижня частина якого має форму зрізаного конуса, та розташованої в нижній частині циліндричного корпусу магнітної системи, постійний магніт якої має одну секцію, і до торцевої частини магнітної системи співвісно їй приєднаний...

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі

Завантаження...

Номер патенту: 57940

Опубліковано: 15.07.2003

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Погребняк Олександр Дмитрович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, вакуумі, пристрій, покриттів

Формула / Реферат:

1. Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод, розпилюваний катод із корпусом циліндричної форми, верхня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса, і встановлену співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді постійного магніту циліндричної форми з наскрізним осьовим отвором, який відрізняється тим, що анод містить герметичний корпус у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді...

Термоіонний розпилювальний пристрій

Завантаження...

Номер патенту: 56837

Опубліковано: 15.05.2003

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Хворост Володимир Андрійович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: термоіонний, пристрій, розпилювальний

Формула / Реферат:

1. Термоіонний розпилювальний пристрій, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого циліндричного корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми з...

Магнітна система магнетронного розпилювального пристрою

Завантаження...

Номер патенту: 33751

Опубліковано: 15.02.2001

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Кравченко Сергій Миколайович, Павлов Андрій Володимирович

МПК: H01J 25/00, C23C 14/35

Мітки: розпилювального, пристрою, магнетронного, магнітна, система

Текст:

...наступним. Рухома і нерухома пари магнітів створюють поблизу поверхні мішені, що розпилюється, магнітну індукцію, що паралельна поверхні мішені і перпендикулярна вектору напруженості електричного поля. Електрони, що знаходяться в цій області, рухаються по циклоїді поблизу поверхні мішені, і іонізують залишкові гази. Прискорені електричним полем іони бомбардують і при цьому розпилюють мішень. Більш високі значення індукції магнітного поля...