Паршин Костянтин Анатолійович

Іонізаційна підкладка на основі структур макропористого кремнію для лазерно-десорбційної мас-спектрометрії

Завантаження...

Номер патенту: 97774

Опубліковано: 12.03.2012

Автори: Покровський Валерій Олександрович, Карачевцева Людмила Анатоліївна, Паршин Костянтин Анатолійович, Литвиненко Олег Олександрович, Севериновська Ольга Валеріївна

МПК: B82B 1/00, B82B 3/00, C01B 33/00 ...

Мітки: кремнію, структур, макропористого, іонізаційна, лазерно-десорбційної, основі, мас-спектрометрії, підкладка

Формула / Реферат:

Іонізаційна підкладка для лазерно-десорбційної мас-спектрометрії, яка виготовлена з кремнієвої пластини і має шар мікропористого кремнію, яка відрізняється тим, що в кремнієвій пластині додатково сформовано шар макропористого кремнію у вигляді паралельно розташованих циліндрів глибиною 20÷300 мікрон, а шар мікропористого кремнію товщиною 0,1÷0,7 мікрона з розмірами нанокристалів 2÷3 нм та пористістю 60÷70 %...

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів

Завантаження...

Номер патенту: 80345

Опубліковано: 10.09.2007

Автори: Карачевцева Людмила Анатоліївна, Литвиненко Олег Олександрович, Стронська Олена Йосипівна, Сизов Федір Федорович, Конін Костянтин Петрович, Голтвянський Юрій Васильович, Паршин Костянтин Анатолійович

МПК: H01L 31/02, G01J 5/20

Мітки: теплоприймальний, болометрів, елемент, неохолоджуваний

Формула / Реферат:

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів, що містить теплочутливий шар кремнію, діелектричну підкладку та порожнину між ними, який відрізняється тим, що теплочутливий шар виготовлений з монокристалічного кремнію, у якому сформовані повітряні порожнини у вигляді паралельно розташованих отворів у формі циліндрів, розміщених періодично або довільно  у теплочутливому шарі , відстань між якими складає від 1,5 до 2,5 мікрон.