Лісовський Ігор Петрович

Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії

Завантаження...

Номер патенту: 97884

Опубліковано: 10.04.2015

Автори: Лісовський Ігор Петрович, Литовченко Володимир Григорович, Войтович Марія Володимирівна, Злобін Сергій Олександрович

МПК: H01L 21/66

Мітки: монокристалічному, кремнії, кисню, концентрації, преципітованого, спосіб, визначення

Формула / Реферат:

Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії, який включає хімічну обробку полірованої з обох сторін пластини кремнію в розчині HF, опромінення її ІЧ світлом і вимірювання смуги ІЧ пропускання в діапазоні 1000-1200 см-1 на валентних Si-Ο зв'язках, який відрізняється тим, що пластину кремнію при вимірюванні смуги ІЧ пропускання додатково охолоджують до температури рідкого азоту 77 К, із зареєстрованої...

Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню

Завантаження...

Номер патенту: 82104

Опубліковано: 25.07.2013

Автори: Венгер Євген Федорович, Войтович Марія Володимирівна, Злобін Сергій Олександрович, Лісовський Ігор Петрович

МПК: C23C 4/00, C23C 14/00, G01M 15/00 ...

Мітки: електрохімічного, сенсора, спосіб, кисню, планарного, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню, який включає нанесення на металеву підкладку шарів металічного нагрівача, ізолюючих шарів Аl2О3, поруватих каталітично-активних електродів Pd або Pt, суцільної плівки твердо-електролітної кераміки на базі діоксиду цирконію та поруватий захисний шар SiOx, який відрізняється тим, що всі шари наносять методом іонно-плазмового розпилення мішені у вакуумі, при цьому нагрівач, ізолюючі...

Cпосіб отримання металевої матриці для тиражування рельєфно-фазових голограм

Завантаження...

Номер патенту: 9725

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Романенко Петро Федорович, Робур Ігор Йосипович, Бутенко Михайло Петрович, Індутний Іван Захарович, Лісовський Ігор Петрович, Стронський Олександр Володимирович, Євтєєв Сергій Анатольєвич

МПК: G02B 5/18, G03C 5/00, B44F 1/00 ...

Мітки: металевої, матриці, cпосіб, голограм, отримання, тиражування, рельєфно-фазових

Формула / Реферат:

1. Способ получения металлической матри­цы для тиражирования рельефно-фазовых голо-грамм, включающий проектирование на светочувствительный слой подложки интерферен­ционной картины, образованной когерентными ла­зерными пучками, экспонирование, селективное травление светочувствительного слоя до получения рельефно-фазовой голограммы-ориганала, нанесе­ние на рельефно-фазовую голограмму гальваниче­ским осаждением никеля, отделение металлической...