Лісовський Ігор Петрович

Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії

Завантаження...

Номер патенту: 97884

Опубліковано: 10.04.2015

Автори: Лісовський Ігор Петрович, Злобін Сергій Олександрович, Войтович Марія Володимирівна, Литовченко Володимир Григорович

МПК: H01L 21/66

Мітки: монокристалічному, визначення, кисню, преципітованого, кремнії, спосіб, концентрації

Формула / Реферат:

Спосіб визначення концентрації преципітованого кисню в монокристалічному кремнії, який включає хімічну обробку полірованої з обох сторін пластини кремнію в розчині HF, опромінення її ІЧ світлом і вимірювання смуги ІЧ пропускання в діапазоні 1000-1200 см-1 на валентних Si-Ο зв'язках, який відрізняється тим, що пластину кремнію при вимірюванні смуги ІЧ пропускання додатково охолоджують до температури рідкого азоту 77 К, із зареєстрованої...

Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню

Завантаження...

Номер патенту: 82104

Опубліковано: 25.07.2013

Автори: Злобін Сергій Олександрович, Войтович Марія Володимирівна, Лісовський Ігор Петрович, Венгер Євген Федорович

МПК: C23C 4/00, C23C 14/00, G01M 15/00 ...

Мітки: електрохімічного, спосіб, кисню, виготовлення, планарного, сенсора

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення планарного електрохімічного сенсора кисню, який включає нанесення на металеву підкладку шарів металічного нагрівача, ізолюючих шарів Аl2О3, поруватих каталітично-активних електродів Pd або Pt, суцільної плівки твердо-електролітної кераміки на базі діоксиду цирконію та поруватий захисний шар SiOx, який відрізняється тим, що всі шари наносять методом іонно-плазмового розпилення мішені у вакуумі, при цьому нагрівач, ізолюючі...

Cпосіб отримання металевої матриці для тиражування рельєфно-фазових голограм

Завантаження...

Номер патенту: 9725

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Стронський Олександр Володимирович, Індутний Іван Захарович, Романенко Петро Федорович, Бутенко Михайло Петрович, Робур Ігор Йосипович, Лісовський Ігор Петрович, Євтєєв Сергій Анатольєвич

МПК: G02B 5/18, G03C 5/00, B44F 1/00 ...

Мітки: тиражування, металевої, отримання, рельєфно-фазових, cпосіб, матриці, голограм

Формула / Реферат:

1. Способ получения металлической матри­цы для тиражирования рельефно-фазовых голо-грамм, включающий проектирование на светочувствительный слой подложки интерферен­ционной картины, образованной когерентными ла­зерными пучками, экспонирование, селективное травление светочувствительного слоя до получения рельефно-фазовой голограммы-ориганала, нанесе­ние на рельефно-фазовую голограмму гальваниче­ским осаждением никеля, отделение металлической...