Лекомт Бенуа

Поділ модульного пристрою для нанесення покриття

Завантаження...

Номер патенту: 112300

Опубліковано: 25.08.2016

Автори: Віам Хью, Лекомт Бенуа, Йонемічі Томохіро

МПК: C23C 14/56, C23C 16/54, C03C 17/00 ...

Мітки: пристрою, покриття, нанесення, модульного, поділ

Формула / Реферат:

1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...