КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі

Завантаження...

Номер патенту: 109081

Опубліковано: 10.08.2016

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Слотвійчук Сергій Анатолійович

МПК: G01K 7/40

Мітки: спосіб, температури, газу, вимірювання, плазми, нерівноважній

Формула / Реферат:

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, в якому мідь-константанову термопару попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, який відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою мікроконтролера, перетворюють в цифровий інформаційний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною цифрового інформаційного сигналу.

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі

Завантаження...

Номер патенту: 95442

Опубліковано: 25.12.2014

Автори: Коломієць Віталій Ігорович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/306

Мітки: визначення, моменту, травлення, хлорвуглецевій, процесу, закінчення, плазми, плазмохімічного, мікроструктур, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі, при якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за...

Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі

Завантаження...

Номер патенту: 88155

Опубліковано: 11.03.2014

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Яремішена Наталія Андріївна

МПК: G01F 1/66

Мітки: рідини, контролю, трубопроводі, витрат, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі, що складається з дротового нагрівача, першого термоперетворювача, перший вивід якого з'єднаний з другим виводом першого резистора, а другий вивід - з першим виводом другого термоперетворювача, причому другий вивід другого термоперетворювача з'єднаний з другим виводом другого резистора, а перший вивід другого резистора з'єднаний з другим виводом третього резистора, перший та другий виводи...

Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі

Завантаження...

Номер патенту: 84425

Опубліковано: 25.10.2013

Автори: Яремішена Наталія Андріївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович

МПК: G01F 1/00

Мітки: пристрій, рідини, трубопроводі, контролю, витрат

Формула / Реферат:

Пристрій для контролю витрат рідини в трубопроводі, що складається з дротового нагрівача, першого термоперетворювача, перший вивід якого з'єднаний з другим виводом першого резистора, а другий вивід - з першим виводом другого термоперетворювача, причому другий вивід другого термоперетворювача з'єднаний з другим виводом другого резистора, а перший вивід другого резистора з'єднаний з другим виводом третього резистора, перший та другий виводи...

Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі

Завантаження...

Номер патенту: 79431

Опубліковано: 25.04.2013

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/306

Мітки: плазми, спосіб, травлення, хлоровуглецевій, плазмового

Формула / Реферат:

Спосіб плазмового травлення в хлоровуглецевій плазмі, при якому травлення проводять у плазмі, яку одержують високочастотним електромагнітним полем в реакційній камері при пониженому тиску газу та суміші основного газу-реагенту, за який використовують тетрахлорид вуглецю, та інертного газу-носія, наприклад, аргону, за рахунок взаємодії з поверхнею продуктів розкладання молекули основного газу-реагенту тетрахлориду вуглецю, а контроль початку...

Оптичний датчик диму

Завантаження...

Номер патенту: 76633

Опубліковано: 10.01.2013

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Косаковський Іван Анатолійович

МПК: G08B 17/10

Мітки: датчик, оптичний, диму

Формула / Реферат:

Оптичний датчик диму, що містить вимірювальну камеру, що має кришку, дно з отворами для проникнення диму і замкнуте бокове огородження, всередині вимірювальної камери встановлені та поміщені в утримувачах джерело оптичного випромінювання та фотоприймач, розташовані під кутом один до одного таким чином, що оптична вісь джерела випромінювання знаходиться поза полем зору фотоприймача, вимірювальна камера також містить периферійні, відображаючі...

Пристрій для визначення переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 76460

Опубліковано: 10.01.2013

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Радчук Альона Сергіївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: G01B 11/00, G01C 22/00

Мітки: пристрій, переміщення, визначення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення відстаней переміщення, що містить вимірювальний об'єкт, джерело світла, передавальний і приймальний волоконно-оптичний джгути, дві вихідні клеми, загальну шину, частотний фотоперетворювач, який містить джерело постійної напруги, резистор, ємність та пасивну індуктивність, причому джерело постійної напруги утворює загальну шину, до якої підключена друга вихідна клема пристрою, який відрізняється тим, що до складу...

Пристрій для визначення переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 76418

Опубліковано: 10.01.2013

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, Радчук Альона Сергіївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01C 22/00, G01B 11/00

Мітки: визначення, переміщення, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення переміщення, який містить вимірювальний об'єкт, джерело світла, передавальний і приймальний волоконно-оптичний джгути, частотний фотоперетворювач, який містить джерело живлення, резистор, ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено фотоприймальний резистор, перший, другий та третій біполярні транзистори, другий, третій, четвертий та п'ятий резистори, причому перший...

Пристрій візуалізації заднього виду на транспорті

Завантаження...

Номер патенту: 74230

Опубліковано: 25.10.2012

Автори: Бойцун Олександр Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Ткачук Дмитро Олегович

МПК: H04N 7/18

Мітки: візуалізації, заднього, пристрій, виду, транспорті

Формула / Реферат:

Пристрій візуалізації заднього виду на транспорті, що містить пристрій реєстрації, електронний модуль, блок інфрачервоного освітлення та блок живлення, причому вихід блока об'єкта візуалізації з'єднаний з входом пристрою реєстрації, вихід блока пристрою реєстрації з'єднаний з входом електронного модуля, другий вихід електронного модуля з'єднаний з входом блока інфрачервоного освітлення вихід блока живлення з'єднаний з входом електронного...

Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 73081

Опубліковано: 10.09.2012

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна

МПК: G01N 21/00

Мітки: плазмового, пристрій, визначення, закінчення, процесу, травлення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, два біполярних транзистори, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...

Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 72328

Опубліковано: 10.08.2012

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: G01N 21/00

Мітки: процесу, травлення, пристрій, плазмового, визначення, закінчення

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, три біполярних транзистора, п'ять резисторів, дві ємності і одне джерело постійної...

Спосіб для визначення відстаней переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 71950

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: G01B 11/00

Мітки: визначення, відстаней, спосіб, переміщення

Формула / Реферат:

Спосіб для визначення відстаней переміщення, в якому оптичне випромінювання з джерела світла реєструють за допомогою фотоприймачів, який відрізняється тим, що перетворюють переміщення у частотний сигнал за допомогою використання світлових променів від поверхні, яка переміщується, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання темних та світлих смуг від рухомої поверхні, а самі частотні сигнали порівнюють між собою, і за величиною...

Спосіб вимірювання витрат рідини в трубопроводі

Завантаження...

Номер патенту: 71949

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Яремішена Наталія Андріївна

МПК: G01F 1/66

Мітки: спосіб, рідини, трубопроводі, вимірювання, витрат

Формула / Реферат:

Спосіб вимірювання витрат рідини в трубопроводі, який включає попереднє нагрівання цієї рідини спеціальним нагрівачем і вимірювання різниці температур рідини до і після нагрівача, яка є пропорційною величині витрат даної рідини в трубопроводі, який відрізняється тим, що виміряну різницю температур перетворюють в частотний інформаційний сигнал за допомогою частотного перетворювача, який реєструють на виході схеми, а величину витрат газу...

Вольтметр середньоквадратичної напруги

Завантаження...

Номер патенту: 71933

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Сокотнюк Микола Ігорович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Шумлянський Іван Леонідович

МПК: G01R 19/00

Мітки: вольтметр, напруги, середньоквадратичної

Формула / Реферат:

Вольтметр середньоквадратичної напруги, що містить послідовно з'єднані масштабний перетворювач, перетворювач амплітудної напруги, компаратор, до входу якого підключено джерело опорної напруги та індикатор перенавантаження, лінійний перетворювач, відліковий пристрій, причому вихід масштабного перетворювача з'єднаний з високочастотним підсилювачем, який в свою чергу з'єднаний з допоміжним лінійним перетворювачем, вихід якого з'єднаний з входом...

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 71738

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Радчук Альона Сергіївна

МПК: G01C 22/00, G01B 11/00

Мітки: переміщення, пристрій, мікроелектронний, процесу, оптичний, реєстрації

Формула / Реферат:

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з двома фотоперетворювачами, крім того, містить два частотних перетворювачі, кожен з яких містить перший, другий та третій резистори, індуктивність, ємність, джерело живлення, який відрізняється тим, що до складу...

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 68897

Опубліковано: 10.04.2012

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Радчук Альона Сергіївна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: G01C 22/00, G01B 11/00

Мітки: переміщення, пристрій, оптичний, реєстрації, мікроелектронний, процесу

Формула / Реферат:

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з двома фотоперетворювачами, кожен з яких містить перший, другий та третій резистори, ємність, джерело живлення, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено фоторезистор,...

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 65017

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: H01L 21/302

Мітки: травлення, визначення, пристрій, закінчення, плазмового, моменту, процесу

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фототранзистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, крім того частотний фотоперетворювач містить другий біполярний транзистори, перший та другий резистори, причому колектор фототранзистора з'єднаний з базою...

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 64926

Опубліковано: 25.11.2011

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: закінчення, моменту, пристрій, плазмового, травлення, визначення, процесу

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, що оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність, котушку індуктивності та два джерела постійної напруги, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить другий біполярний транзистор, перший та другий резистори, причому перший вивід фоторезистора з'єднаний із...

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення

Завантаження...

Номер патенту: 61145

Опубліковано: 11.07.2011

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Радчук Альона Сергіївна, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01B 11/00

Мітки: оптичний, мікроелектронний, переміщення, процесу, реєстрації, пристрій

Формула / Реферат:

Мікроелектронний оптичний пристрій для реєстрації процесу переміщення, який містить рухому поверхню, джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючої лінзи та оптичного фільтра, оптично з'єднаних з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що в пристрій введено два частотних перетворювачі, кожен з яких містить фотобіполярний транзистор, перший, другий та третій резистори, польовий транзистор,...

Пристрій для визначення закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 58789

Опубліковано: 26.04.2011

Автори: Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мандзюк Оксана Миколаївна, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: G01N 21/00

Мітки: травлення, процесу, закінчення, визначення, пристрій, плазмового

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який містить фоторезистор, біполярний транзистор, ємність і джерело постійної напруги, який відрізняється тим, що...

Пристрій для вимірювання витрат газу

Завантаження...

Номер патенту: 55925

Опубліковано: 27.12.2010

Автори: Стовбчата Ольга Петрівна, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01F 1/66

Мітки: витрат, вимірювання, пристрій, газу

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання витрати газу, шо містить вимірювальну трубу із прозорими вікнами, гелій-неоновий лазер, резонатор якого утворений першим, другим і третім дзеркалами, розміщеними у вершинах трикутника, та активним елементом, який розташований співвісно з вимірювальною трубою, четверте і п'яте дзеркала та фотоприймач, причому перше дзеркало оптично зв'язане з другим дзеркалом і через активний елемент з третім дзеркалом, друге дзеркало...

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках

Завантаження...

Номер патенту: 46501

Опубліковано: 25.12.2009

Автори: Плахотнюк Максим Миколайович, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/00

Мітки: визначення, заряду, пристрій, напівпровідниках, неосновних, дифузійної, носіїв, довжини, мікроелектронний

Формула / Реферат:

Мікроелектронний пристрій для визначення дифузійної довжини неосновних носіїв заряду в напівпровідниках, який містить лазерне джерело світла, розташоване над діафрагмою та оптично зв'язане з фокусуючою системою, яка складається з фокусуючих лінз, а також з джерела живлення і системи контактів, з'єднаних із зразком, та паралельно з'єднаних з опором навантаження, який відрізняється тим, що в нього введено блок обробки та індикації сигналу,...

Мікроелектронний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників

Завантаження...

Номер патенту: 43410

Опубліковано: 10.08.2009

Автори: Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович, Плахотнюк Максим Миколайович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/70

Мітки: пристрій, параметрів, прозорих, контролю, напівпровідників, оптично, мікроелектронний

Формула / Реферат:

Мікроелектроний пристрій для контролю параметрів оптично прозорих напівпровідників, який містить джерело світла, оптично зв'язане з фокусуючою системою, джерело живлення і систему контактів, з'єднаних із зразком, який відрізняється тим, що в нього введено мікроелектронний частотний перетворювач, що містить дільник напруги з двох резисторів, польовий та біполярний транзистори, індуктивність, ємність, резистор і два джерела постійної напруги,...

Пристрій керування параметрами газорозрядного джерела електронів

Завантаження...

Номер патенту: 42216

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: Мельничук Олена Михайлівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01J 37/00

Мітки: пристрій, джерела, електронів, керування, параметрами, газорозрядного

Формула / Реферат:

Пристрій керування параметрами газорозрядного джерела електронів, що містить джерело електронів, яке складається із корпусу, першого і другого холодних катодів, розташованих співвісно з циліндричним анодом, експандером та електродом, який служить для витягування електронного пучка, причому катоди і анод розділені ізоляторами та забезпечені водяним охолодженням, джерело високовольтного живлення, магнітна фокусуюча і відхиляюча системи...

Газоаналізатор

Завантаження...

Номер патенту: 42215

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: Дудник Дмитро Петрович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01N 21/61

Мітки: газоаналізатор

Формула / Реферат:

Газоаналізатор, що містить оптично зв'язані джерело випромінювання, кювету у вигляді інтегруючої сфери, світлофільтр та приймач випромінювання, при цьому внутрішнє покриття кювети виконано із матеріалу, що розсіює світло, а перед приймачем випромінювання встановлено світлорозсіюючий екран, який відрізняється тим, що в нього введено оптичний частотний перетворювач, що містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...

Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 42209

Опубліковано: 25.06.2009

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович

МПК: G01N 21/00

Мітки: матеріалів, пристрій, спектроскопії, оптично

Формула / Реферат:

Пристрій для оптичної спектроскопії матеріалів, що містить джерело оптичного випромінювання, монохроматор у вигляді набору світлофільтрів, кювету з розміщеним в ній досліджуваним матеріалом, фотоперетворювач, який розміщений в центрі заглушеної основи кювети світлочутливим шаром перпендикулярно і безпосередньо до потоку оптичного випромінювання і відкритій основі кювети, та реєструючий прилад, який відрізняється тим, що як фотоперетворювач...

Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин

Завантаження...

Номер патенту: 41790

Опубліковано: 10.06.2009

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Каракулова Аліна Іванівна, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/02

Мітки: напівпровідникових, травлення, плазмохімічного, пластин, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин, який полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу, а контроль моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення проводять за допомогою двох електричних зондів, які вводять в зону розряду, перший з яких розташовують біля напівпровідникової пластини зі сторони...

Конденсаційний гігрометр

Завантаження...

Номер патенту: 39596

Опубліковано: 10.03.2009

Автори: Савицький Антон Юрійович, Крилик Людмила Вікторівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01N 21/53

Мітки: конденсаційний, гігрометр

Формула / Реферат:

Конденсаційний гігрометр, який складається з вимірювальної камери з конденсаційним дзеркалом, охолоджувача, зв'язаного з конденсаційним дзеркалом через холодовід, схеми фіксації точки роси, яка складається з джерела випромінювання, фотоприймача і термочутливого елемента, причому вимірювальна камера є холодоводом і виконана у вигляді циліндра, внутрішня поверхня якого є конденсаційним дзеркалом, який відрізняється тим, що вимірювальна камера...

Генератор широкосмугового нвч-сигналу на віртуальному катоді

Завантаження...

Номер патенту: 35965

Опубліковано: 10.10.2008

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Мельничук Олена Михайлівна

МПК: H01J 25/00

Мітки: віртуальному, катоді, широкосмугового, нвч-сигналу, генератор

Формула / Реферат:

Генератор широкосмугового НВЧ-сигналу на віртуальному катоді, що містить катод, не менше одного сіткового анода, розміщеного перпендикулярно напрямку руху пучка електронів з можливістю формування віртуального катода, який відрізняється тим, що в нього введено хвилевід циліндричної форми, з'єднаний з сітковим анодом та розташований співвісно з катодом, сітковим анодом і віртуальним катодом, ізолятор, розміщений навколо катода, діелектричне...

Газоаналізатор

Завантаження...

Номер патенту: 34559

Опубліковано: 11.08.2008

Автори: Савицький Антон Юрійович, Гладковська Олена Леонідівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01N 21/53

Мітки: газоаналізатор

Формула / Реферат:

Газоаналізатор, який складається з оптично пов'язаних джерела випромінювання, приймача випромінювання, вимірювальної кювети і світлофільтра, який відрізняється тим, що як джерело випромінювання використано джерело когерентного випромінювання, вимірювальна кювета виконана у формі паралелепіпеда, з трикутною основою, в яку додатково введено фокусуючу лінзу, направляюче дзеркало розташоване таким чином, щоб випромінювання від джерела...

Оптичний газоаналізатор

Завантаження...

Номер патенту: 34556

Опубліковано: 11.08.2008

Автори: Савицький Антон Юрійович, Крилик Людмила Вікторівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01N 21/01

Мітки: оптичний, газоаналізатор

Формула / Реферат:

Оптичний газоаналізатор, що складається з оптично зв'язаних джерела випромінювання, світлофільтра, кювети, яка виконана у вигляді напівеліпсоїда з внутрішнім дзеркальним покриттям, у одному фокусі якого розташовано джерело випромінювання, а в другому - приймач випромінювання, який відрізняється тим, що в нього введено у вимірювальне коло, що містить джерело постійної напруги, перший, другий, третій, четвертий і п'ятий резистори, перший,...

Пристрій для вимірювання вологості

Завантаження...

Номер патенту: 34555

Опубліковано: 11.08.2008

Автори: Мельничук Олена Михайлівна, Звягін Олександр Сергійович, Крилик Людмила Вікторівна, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01N 22/00

Мітки: пристрій, вимірювання, вологості

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання вологості, що містить трубопровід, передавальну та приймальну антени, які встановлені діаметрально на зовнішній поверхні трубопроводу, частотомір, з'єднаний з приймальною антеною, який відрізняється тим, що в нього введено надвисокочастотний генератор віркаторного типу, причому передавальна та приймальна антени виконані параболічними, а надвисокочастотний генератор віркаторного типу розташований напроти передавальної...

Пристрій для вимірювання градієнтів деформації і температури

Завантаження...

Номер патенту: 31975

Опубліковано: 25.04.2008

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Романова Ірина Анатоліївна

МПК: G01B 7/00

Мітки: пристрій, вимірювання, деформації, температури, градієнтів

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання градієнтів деформації і температури, що містить основний тензочутливий елемент, який виконано у вигляді стержня з монокристала напівпровідника з кристалографічною орієнтацією [111] і з шаром ізоляції, якою є окислена його поверхня, додатковий тензочутливий елемент, який виконано у вигляді стержня з монокристала напівпровідника з кристалографічною орієнтацією [100], провідністю, що є протилежною до типу провідності...

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Завантаження...

Номер патенту: 31519

Опубліковано: 10.04.2008

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Дудник Дмитро Петрович

МПК: H01L 21/302

Мітки: моменту, спосіб, закінчення, плазмохімічного, процесу, травлення, визначення

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення...

Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 31602

Опубліковано: 10.04.2008

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Савицький Антон Юрійович

МПК: H01L 21/302

Мітки: обробки, плазмохімічної, спосіб, матеріалів

Формула / Реферат:

Спосіб плазмохімічної обробки матеріалів, який полягає у травленні напівпровідникових пластин, що проводять в циліндричному реакторі, в якому плазму ВЧ-розряду збуджують при пониженому тиску плазмоутворюючого газу шляхом створення в реакторі високочастотного електричного поля напруженістю Е, яке зумовлює появу хімічно активних частинок плазми концентрацією N, пластини розташовують у спеціальних касетах на відстані h одна від одної, який...

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі

Завантаження...

Номер патенту: 27672

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: Івчук Ганна Василівна, Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: G01K 7/40

Мітки: температури, вимірювання, нерівноважній, плазми, газу, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що включає введення в плазму мідь-константанової термопари, яку попередньо розміщують в кварцовому капілярі, який запаюють на кінці, який відрізняється тим, що напругу на зовнішніх її виводах, за допомогою частотного перетворювача, перетворюють в електричний частотний сигнал, а температуру газу в нерівноважній плазмі вимірюють за зміною частоти електричного частотного сигналу.

Пристрій для вимірювання різниці температур

Завантаження...

Номер патенту: 27665

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Івчук Ганна Василівна

МПК: G01K 3/00

Мітки: вимірювання, температур, різниці, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання різниці температур, що складається з двох термометрів опору, двох біполярних транзисторів з струмозадавальними резисторами в колі їх емітерів, джерела живлення, стабілізатора стуму, виконаного на польовому транзисторі з струмозадавальним резистором в колі його витоку, який відрізняється тим, що в коло колекторів біполярних транзисторів увімкнено резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і...

Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі

Завантаження...

Номер патенту: 27662

Опубліковано: 12.11.2007

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Олександр Володимирович, Осадчук Володимир Степанович

МПК: G01K 7/40

Мітки: плазми, пристрій, температури, газу, нерівноважній, вимірювання

Формула / Реферат:

Пристрій для вимірювання температури газу в нерівноважній плазмі, що містить розрядну трубку, вакуумний шліф, який з'єднано з розрядною трубкою, кварцовий капіляр з зовнішнім діаметром 0,5-1 мм, який закріплено на вакуумному шліфі і який запаяно на кінці, і мідь-константанову термопару, яку введено всередину капіляра, який відрізняється тим, що до нього введено джерело постійної напруги, перший, другий, третій, четвертий і п'ятий резистори,...

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення

Завантаження...

Номер патенту: 26976

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: Кравченко Сергій Юрійович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович

МПК: H01L 21/302

Мітки: травлення, процесу, визначення, спосіб, плазмохімічного, закінчення, моменту

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали...

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення

Завантаження...

Номер патенту: 26975

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Осадчук Володимир Степанович, Осадчук Олександр Володимирович, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/302

Мітки: процесу, визначення, закінчення, моменту, травлення, пристрій, плазмового

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з частотним фотоперетворювачем, який містить фотодіод, джерело постійної напруги, резистор, біполярний транзистор і ємність, який відрізняється тим, що до складу частотного фотоперетворювача додатково введено другий і третій біполярні транзистори, другу ємність, другий, третій, четвертий і п'ятий...