Корнющенко Ганна Сергіївна

Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію

Завантаження...

Номер патенту: 95509

Опубліковано: 25.12.2014

Автори: Корнющенко Ганна Сергіївна, Наталіч Вікторія Вадимівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: H01L 21/20

Мітки: анодно-окисленого, алюмінію, спосіб, нанопор, отримання, конденсатів

Формула / Реферат:

Спосіб отримання конденсатів всередині нанопор анодно-окисленого алюмінію (Аl2О3) шляхом випаровування речовини у вакуумі з подальшою конденсацією сформованих при цьому парових потоків всередині упорядкованої системи пор Аl2О3, який відрізняється тим, що формування парових потоків здійснюють за допомогою магнетронного розпилення речовини, при цьому утворений паровий потік пропускають через тісно прилягаючі одна до одної трубки, діаметр яких...

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.07.2008

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Корнющенко Ганна Сергіївна, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35, C23C 14/22 ...

Мітки: матеріалів, одержання, надпоруватих, спосіб, шарів, електропровідних

Формула / Реферат:

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів, який включає перехід речовини з конденсованого стану в стан пари і конденсацію на підкладку за умов наближення до фазової рівноваги системи пара-конденсат при відповідних підвищених температурах осадження, який відрізняється тим, що пари речовини іонізують і конденсацію проводять на підкладку, до якої підводять від'ємний потенціал, та на поверхню росту кристалу діють потоком...

Пристрій для формування вакуумних конденсатів

Завантаження...

Номер патенту: 80775

Опубліковано: 25.10.2007

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Корнющенко Ганна Сергіївна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35

Мітки: пристрій, вакуумних, формування, конденсатів

Формула / Реферат:

Пристрій для формування вакуумних конденсатів, що містить анод, за який використані стінки робочої камери, охолоджуваний водою катодний вузол циліндричної форми, який складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені і магнітної системи у вигляді постійних магнітів, які забезпечують формування необхідної конфігурації магнітного поля безпосередньо над поверхнею розпилювальної мішені, та підкладку, який...