Конін Костянтин Петрович

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів

Завантаження...

Номер патенту: 80345

Опубліковано: 10.09.2007

Автори: Стронська Олена Йосипівна, Паршин Костянтин Анатолійович, Конін Костянтин Петрович, Сизов Федір Федорович, Голтвянський Юрій Васильович, Литвиненко Олег Олександрович, Карачевцева Людмила Анатоліївна

МПК: H01L 31/02, G01J 5/20

Мітки: елемент, теплоприймальний, болометрів, неохолоджуваний

Формула / Реферат:

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів, що містить теплочутливий шар кремнію, діелектричну підкладку та порожнину між ними, який відрізняється тим, що теплочутливий шар виготовлений з монокристалічного кремнію, у якому сформовані повітряні порожнини у вигляді паралельно розташованих отворів у формі циліндрів, розміщених періодично або довільно  у теплочутливому шарі , відстань між якими складає від 1,5 до 2,5 мікрон.