Конін Костянтин Петрович

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів

Завантаження...

Номер патенту: 80345

Опубліковано: 10.09.2007

Автори: Конін Костянтин Петрович, Паршин Костянтин Анатолійович, Литвиненко Олег Олександрович, Голтвянський Юрій Васильович, Карачевцева Людмила Анатоліївна, Сизов Федір Федорович, Стронська Олена Йосипівна

МПК: G01J 5/20, H01L 31/02

Мітки: болометрів, теплоприймальний, елемент, неохолоджуваний

Формула / Реферат:

Неохолоджуваний теплоприймальний елемент для болометрів, що містить теплочутливий шар кремнію, діелектричну підкладку та порожнину між ними, який відрізняється тим, що теплочутливий шар виготовлений з монокристалічного кремнію, у якому сформовані повітряні порожнини у вигляді паралельно розташованих отворів у формі циліндрів, розміщених періодично або довільно  у теплочутливому шарі , відстань між якими складає від 1,5 до 2,5 мікрон.