Кіршнер Манфред

Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 107217

Опубліковано: 10.12.2014

Автори: Кіршнер Манфред, Хотц Йюрген, Сесерко Павел, Ріт Вольфганг, Еберхардт Хельмут, Віттіх Йорг

МПК: C23C 14/24, C23C 14/30, H01J 37/305 ...

Мітки: осадження, електронно-променевого, допомогою, нанесення, пристрій, субстратів, вкривання, застосуванням, способу, парової, фазі

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...