Кідалов Валерій Вітальович
Спосіб визначення кристалографічної орієнтації поверхні фосфіду індію
Номер патенту: 62573
Опубліковано: 12.09.2011
Автори: Сукач Георгій Олексійович, Кідалов Валерій Вітальович, Сичікова Яна Олександрівна
МПК: H01L 21/00
Мітки: орієнтації, визначення, поверхні, спосіб, індію, кристалографічно, фосфіду
Формула / Реферат:
Спосіб визначення кристалографічної орієнтації поверхні фосфіду індію, який включає електрохімічну обробку кристала в розчинах плавикової чи соляної кислот з подальшим спостереженням ямок травлення на скануючому електронному мікроскопі, за формою ямок травлення визначають орієнтацію напівпровідника.
Склад поліруючого травника для фосфіду індію n-типу
Номер патенту: 62226
Опубліковано: 25.08.2011
Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Кідалов Валерій Вітальович
МПК: C03C 15/00
Мітки: фосфіду, склад, n-типу, травника, поліруючого, індію
Формула / Реферат:
Склад поліруючого травника для фосфіду індію n-типу, що включає плавикову кислоту (HF), який відрізняється тим, що додатково містить бромоводневу кислоту (HBr) та воду (H2O) при наступному співвідношенні компонентів: H2O:HF:HBr=5:5:l.
Спосіб видалення поруватого шару з поверхні por-inp
Номер патенту: 58008
Опубліковано: 25.03.2011
Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Сичікова Яна Олександрівна
МПК: C03C 15/00
Мітки: поверхні, поруватого, видалення, шару, por-inp, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб видалення поруватого шару з поверхні por-ІnР, що включає електрохімічну обробку пластин в розчині плавикової кислоти при відношенні компонентів електроліту H2O:HF= 1:1, який відрізняється тим, що травлення проводиться у два етапи:1) електрохімічна обробка проводиться при середніх значення щільності струму (близько 80 мА/см2) протягом 3 хвилин;2) другий етап реалізується травленням у тому самому електроліті при щільності...
Спосіб дослідження композиційної неоднорідності структури кристалів фосфіду індію
Номер патенту: 93456
Опубліковано: 10.02.2011
Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович
МПК: G01N 1/32, G01N 27/00
Мітки: структури, кристалів, композиційної, спосіб, індію, дослідження, фосфіду, неоднорідності
Формула / Реферат:
1. Спосіб дослідження композиційної неоднорідності структури кристалів фосфіду індію, який відрізняється тим, що включає обробку поверхні монокристалічного фосфіду індію шляхом селективного електрохімічного травлення, яке проводять шляхом обробки монокристала фосфіду індію у розчині етилового спирту, води та HF у співвідношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 50 мА/см2.2. Спосіб за п. 1,...
Спосіб отримання плівки inn на підкладці з поруватого шару inp
Номер патенту: 54800
Опубліковано: 25.11.2010
Автори: Коноваленко Анатолій Анатольович, Сичікова Яна Олександрівна, Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Балан Олександр Сергійович
МПК: H01L 21/00
Мітки: шару, спосіб, плівки, поруватого, отримання, підкладці
Формула / Реферат:
Спосіб отримання плівки InN на підкладці з поруватого шару InP, що здійснюють методом радикало-променевої епітаксії, який відрізняється тим, що плівку InN отримують методом радикало-променевої епітаксії у потоці чистого аміаку при температурі 300-400 °С протягом 1,5 години на підкладках поруватого фосфіду індію, отриманого електрохімічним травленням.
Спосіб текстурування поверхні фосфіду індію р-типу
Номер патенту: 53712
Опубліковано: 11.10.2010
Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Коноваленко Анатолій Анатольович, Сичікова Яна Олександрівна, Сукач Георгій Олексійович, Балан Олександр Сергійович
МПК: H01L 21/306
Мітки: текстурування, поверхні, індію, спосіб, фосфіду, р-типу
Формула / Реферат:
1. Cпосіб виготовлення текстурованих структур з розвиненою морфологією на поверхні монокристалічного фосфіду індію р-типу, а саме фотоелектрохімічного травлення, що проводять у розчині плавикової бромоводневої кислоти концентрацією НВr:Н2О=1:1.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що травлення проводять у 50% розчині бромідної кислоти при щільності струму 150 мА/см2 та часі анодування 8 хв.3. Спосіб за п. 1, який...
Спосіб отримання макропоруватої поверхні фосфіду індію методом електролітичного травлення у розчині плавикової кислоти
Номер патенту: 51830
Опубліковано: 10.08.2010
Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сичікова Яна Олександрівна, Сукач Георгій Олексійович
МПК: G01N 27/00
Мітки: кислоти, розчині, плавікової, методом, отримання, індію, макропоруватої, електролітичного, травлення, спосіб, поверхні, фосфіду
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання макропоруватого шару на поверхні монокристалічного фосфіду індію, який включає обробку поверхні монокристалічного ІnР шляхом електрохімічного травлення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що електрохімічне травлення проводять обробкою монокристалу ІnР у розчині етилового спирту, води та HF у відношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 110 мА/см протягом 15...
Спосіб отримання нанопоруватого шару фосфіду індію шляхом електрохімічного травлення у розчині плавикової кислоти
Номер патенту: 50341
Опубліковано: 10.06.2010
Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Сукач Георгій Олексійович, Кідалов Валерій Вітальович
МПК: G01N 27/00
Мітки: спосіб, нанопоруватого, травлення, фосфіду, електрохімічного, розчині, індію, кислоти, шару, отримання, шляхом, плавікової
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання нанопоруватого шару на поверхні монокристалічного фосфіду індію, який включає обробку поверхні монокристалічного ІnР шляхом електрохімічного травлення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала ІnР у розчині етилового спирту, води та HF у відношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 30 мА/см2 протягом 5...