Кідалов Валерій Вітальович

Номер патенту: 62573

Опубліковано: 12.09.2011

Автори: Сукач Георгій Олексійович, Кідалов Валерій Вітальович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: H01L 21/00

Мітки: визначення, орієнтації, фосфіду, поверхні, кристалографічно, спосіб, індію

Формула / Реферат:

Спосіб визначення кристалографічної орієнтації поверхні фосфіду індію, який включає електрохімічну обробку кристала в розчинах плавикової чи соляної кислот з подальшим спостереженням ямок травлення на скануючому електронному мікроскопі, за формою ямок травлення визначають орієнтацію напівпровідника.

Номер патенту: 62226

Опубліковано: 25.08.2011

Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Кідалов Валерій Вітальович

МПК: C03C 15/00

Мітки: індію, n-типу, поліруючого, склад, травника, фосфіду

Формула / Реферат:

Склад поліруючого травника для фосфіду індію n-типу, що включає плавикову кислоту (HF), який відрізняється тим, що додатково містить бромоводневу кислоту (HBr) та воду (H2O) при наступному співвідношенні компонентів: H2O:HF:HBr=5:5:l.

Номер патенту: 58008

Опубліковано: 25.03.2011

Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: C03C 15/00

Мітки: por-inp, видалення, поверхні, шару, поруватого, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб видалення поруватого шару з поверхні por-ІnР, що включає електрохімічну обробку пластин в розчині плавикової кислоти при відношенні компонентів електроліту H2O:HF= 1:1, який відрізняється тим, що травлення проводиться у два етапи:1) електрохімічна обробка проводиться при середніх значення щільності струму (близько 80 мА/см2) протягом 3 хвилин;2) другий етап реалізується травленням у тому самому електроліті при щільності...

Номер патенту: 93456

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: G01N 27/00, G01N 1/32

Мітки: структури, композиційної, фосфіду, спосіб, неоднорідності, дослідження, кристалів, індію

Формула / Реферат:

1. Спосіб дослідження композиційної неоднорідності структури кристалів фосфіду індію, який відрізняється тим, що включає обробку поверхні монокристалічного фосфіду індію шляхом селективного електрохімічного травлення, яке проводять шляхом обробки монокристала фосфіду індію у розчині етилового спирту, води та HF у співвідношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 50 мА/см2.2. Спосіб за п. 1,...

Номер патенту: 54800

Опубліковано: 25.11.2010

Автори: Коноваленко Анатолій Анатольович, Сичікова Яна Олександрівна, Балан Олександр Сергійович, Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович

МПК: H01L 21/00

Мітки: плівки, підкладці, спосіб, отримання, поруватого, шару

Формула / Реферат:

Спосіб отримання плівки InN на підкладці з поруватого шару InP, що здійснюють методом радикало-променевої епітаксії, який відрізняється тим, що плівку InN отримують методом радикало-променевої епітаксії у потоці чистого аміаку при температурі 300-400 °С протягом 1,5 години на підкладках поруватого фосфіду індію, отриманого електрохімічним травленням.

Номер патенту: 53712

Опубліковано: 11.10.2010

Автори: Сичікова Яна Олександрівна, Коноваленко Анатолій Анатольович, Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Балан Олександр Сергійович

МПК: H01L 21/306

Мітки: р-типу, поверхні, текстурування, фосфіду, індію, спосіб

Формула / Реферат:

1. Cпосіб виготовлення текстурованих структур з розвиненою морфологією на поверхні монокристалічного фосфіду індію р-типу, а саме фотоелектрохімічного травлення, що проводять у розчині плавикової бромоводневої кислоти концентрацією НВr:Н2О=1:1.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що травлення проводять у 50% розчині бромідної кислоти при щільності струму 150 мА/см2 та часі анодування 8 хв.3. Спосіб за п. 1, який...

Номер патенту: 51830

Опубліковано: 10.08.2010

Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сичікова Яна Олександрівна, Сукач Георгій Олексійович

МПК: G01N 27/00

Мітки: спосіб, макропоруватої, методом, розчині, отримання, травлення, кислоти, електролітичного, плавікової, фосфіду, індію, поверхні

Формула / Реферат:

1. Спосіб отримання макропоруватого шару на поверхні монокристалічного фосфіду індію, який включає обробку поверхні монокристалічного ІnР шляхом електрохімічного травлення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що електрохімічне травлення проводять обробкою монокристалу ІnР у розчині етилового спирту, води та HF у відношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 110 мА/см протягом 15...

Номер патенту: 50341

Опубліковано: 10.06.2010

Автори: Кідалов Валерій Вітальович, Сукач Георгій Олексійович, Сичікова Яна Олександрівна

МПК: G01N 27/00

Мітки: електрохімічного, плавікової, фосфіду, травлення, кислоти, шляхом, розчині, шару, індію, спосіб, нанопоруватого, отримання

Формула / Реферат:

1. Спосіб отримання нанопоруватого шару на поверхні монокристалічного фосфіду індію, який включає обробку поверхні монокристалічного ІnР шляхом електрохімічного травлення.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що електрохімічне травлення проводять обробкою монокристала ІnР у розчині етилового спирту, води та HF у відношенні 2:1:1 відповідно при проходженні крізь електроліт постійного струму щільністю 30 мА/см2 протягом 5...