Хотц Йюрген

Пристрій для вкривання субстратів із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази

Завантаження...

Номер патенту: 107217

Опубліковано: 10.12.2014

Автори: Віттіх Йорг, Кіршнер Манфред, Еберхардт Хельмут, Ріт Вольфганг, Сесерко Павел, Хотц Йюрген

МПК: C23C 14/24, H01J 37/305, C23C 14/30 ...

Мітки: застосуванням, способу, нанесення, парової, пристрій, фазі, вкривання, електронно-променевого, допомогою, субстратів, осадження

Формула / Реферат:

1. Пристрій для вкривання субстратів матеріалом покриття із застосуванням способу електронно-променевого нанесення за допомогою осадження з парової фази, який має тигельну конструкцію, яка складається з принаймні двох тиглів, розташованих на відстані один від одного у горизонтальній площині, причому тигельна конструкція розташована у каркасі (1), який може зміщуватися горизонтально, причому принаймні один вал (13) для розміщення бруска...