Горбанюк Теятна Іванівна
Спосіб отримання наноструктурованої плівки оксиду вольфраму для газових сенсорів
Номер патенту: 95155
Опубліковано: 10.12.2014
Автори: Солнцев В'ячеслав Сергійович, Литовченко Володимир Григорович, Горбанюк Теятна Іванівна
МПК: H01L 21/223, H01L 21/203, B82Y 30/00 ...
Мітки: спосіб, газових, плівки, оксиду, наноструктурованої, отримання, вольфраму, сенсорів
Формула / Реферат:
Спосіб отримання наноструктурованої плівки оксиду вольфраму (WO3) для газових сенсорів шляхом термічного окислення вольфраму (W) в атмосфері кисню (O2), який відрізняється тим, що вольфрамову плівку товщиною 20-100 нм наносять на кремнієву підкладку (Si) р-типу методом магнетронного розпилення вольфрамової (W) мішені, після чого проводять процес термічного окислення при температурі 400-600 °C, швидкості потоку О2 10-20 см3/с та часу...