C23C 16/54 — пристрої, спеціально пристосовані для безперервного покриття

Поділ модульного пристрою для нанесення покриття

Завантаження...

Номер патенту: 112300

Опубліковано: 25.08.2016

Автори: Лекомт Бенуа, Віам Хью, Йонемічі Томохіро

МПК: C23C 16/54, H01L 21/00, C23C 14/56, C03C 17/00 ...

Мітки: нанесення, модульного, покриття, поділ, пристрою

Формула / Реферат:

1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...

Пристрій для транспортування плазмових потоків від вакуумно-дугових джерел плазми до вихідного отвору

Завантаження...

Номер патенту: 105979

Опубліковано: 10.07.2014

Автори: Аксьонов Дмитро Сергійович, Аксьонов Іван Іванович, Білоус Віталій Арсентійович

МПК: C23C 16/54, C23C 16/00, H05H 1/00, C23C 14/35 ...

Мітки: отвору, плазми, потоків, вихідного, джерел, вакуумно-дугових, транспортування, плазмових, пристрій

Формула / Реферат:

1. Пристрій для транспортування плазмових потоків від вакуумно-дугових джерел плазми до вихідного отвору, який містить два вхідних і один вихідний плазмоводи у вигляді відрізків труб, з'єднаних між собою і охоплених електромагнітними котушками, і електромагнітний засіб в місці з'єднання плазмоводів для створення магнітного поля, відбиваючого плазму від стінок вхідних плазмоводів в області їх з'єднання, який відрізняється тим, що зазначений...

Спосіб проведення гомогенних і гетерогенних хімічних реакцій з використанням плазми

Завантаження...

Номер патенту: 75530

Опубліковано: 17.04.2006

Автори: Хмєль Сєргєй Яковлєвіч, Шарафутдінов Равєль Газізовіч, Тімофєєв Владімір Борісовіч, Полісан Андрєй Андрєєвіч, Карстєн Вольдємар Мартиновіч, Сємьонова Ольга Івановна

МПК: C23C 16/22, B01J 19/08, B22F 9/16 ...

Мітки: плазми, гомогенних, проведення, спосіб, хімічних, реакцій, гетерогенних, використанням

Формула / Реферат:

1. Спосіб проведення хімічних реакцій, який полягає в тому, що подають реакційний газ з джерела реакційного газу у вакуумну реакційну камеру, формують в ній надзвуковий потік реакційного газу і активують зазначений надзвуковий потік реакційного газу шляхом дії на нього електронним пучком з утворенням електронно-пучкової плазми, який відрізняється тим, що зазначений надзвуковий потік реакційного газу формують таким чином, що на вході у...

Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери

Завантаження...

Номер патенту: 47445

Опубліковано: 15.07.2002

Автори: Барберо Роберт Стівен, Коутс Дон Мейо, Девлін Девид Джеймс, Арчулета Томас Артур

МПК: C23C 16/26, D06M 10/00, C23C 16/54 ...

Мітки: катодний, реактора, алмазоподібного, блок, алмазоподібним, камери, покриття, вуглецю, спосіб, волокна, осаджування, непровідного, камера, вуглецем

Формула / Реферат:

1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у  камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...

Спосіб одержання підкладки з пароізоляційними властивостями плазменною обробкою, пристрій для плазменної обробки підкладки та пристрій для нанесення пароізоляційного покриття на підкладку

Завантаження...

Номер патенту: 26761

Опубліковано: 12.11.1999

Автори: НЕЛСОН Роберт Дж., КАНТРІВУД Джозеф, Чесем Роберт Худ Ііі, Фелтс Джон Т

МПК: C23C 16/40, C23C 16/54

Мітки: плазменної, плазменною, нанесення, обробки, покриття, властивостями, спосіб, пристрій, пароізоляційного, обробкою, підкладки, пароізоляційними, підкладку, одержання

Формула / Реферат:

1. Способ получения подложки с пароизоляционными свойствами плазменной обработкой, включающий подачу в вакуумную камеру подложки, образование в камере плазмы тлеющего разряда из летучего кремнийорганического соединения, кислорода и инертного газа, при пониженном давлении, отличающийся тем, что в камере поддерживают давление менее 13,3Па (0,1Торр), ограничивают плазму до полосы, имеющей расстояние дельта в одном измерении не более 30...