C23C 16/54 — пристрої, спеціально пристосовані для безперервного покриття

Поділ модульного пристрою для нанесення покриття

Завантаження...

Номер патенту: 112300

Опубліковано: 25.08.2016

Автори: Лекомт Бенуа, Йонемічі Томохіро, Віам Хью

МПК: C03C 17/00, C23C 14/56, C23C 16/54, H01L 21/00 ...

Мітки: поділ, модульного, нанесення, покриття, пристрою

Формула / Реферат:

1. Спосіб осадження багатошарової покриваючої стопи шарів на плоску скляну підкладку, що включає осадження методом катодного розпилення під вакуумом принаймні першого шару в першій зоні осадження, яка має перший тип атмосфери, і принаймні другого шару в другій зоні осадження, яка має другий тип атмосфери, що відділений від першого типу атмосфери розділовою зоною, де плоску скляну підкладку переміщують від першої зони осадження до другої зони...

Пристрій для транспортування плазмових потоків від вакуумно-дугових джерел плазми до вихідного отвору

Завантаження...

Номер патенту: 105979

Опубліковано: 10.07.2014

Автори: Білоус Віталій Арсентійович, Аксьонов Дмитро Сергійович, Аксьонов Іван Іванович

МПК: C23C 16/00, H05H 1/00, C23C 14/35, C23C 16/54 ...

Мітки: плазмових, транспортування, вихідного, джерел, потоків, плазми, вакуумно-дугових, пристрій, отвору

Формула / Реферат:

1. Пристрій для транспортування плазмових потоків від вакуумно-дугових джерел плазми до вихідного отвору, який містить два вхідних і один вихідний плазмоводи у вигляді відрізків труб, з'єднаних між собою і охоплених електромагнітними котушками, і електромагнітний засіб в місці з'єднання плазмоводів для створення магнітного поля, відбиваючого плазму від стінок вхідних плазмоводів в області їх з'єднання, який відрізняється тим, що зазначений...

Спосіб проведення гомогенних і гетерогенних хімічних реакцій з використанням плазми

Завантаження...

Номер патенту: 75530

Опубліковано: 17.04.2006

Автори: Шарафутдінов Равєль Газізовіч, Тімофєєв Владімір Борісовіч, Карстєн Вольдємар Мартиновіч, Хмєль Сєргєй Яковлєвіч, Сємьонова Ольга Івановна, Полісан Андрєй Андрєєвіч

МПК: B01J 19/08, C23C 16/22, B22F 9/16 ...

Мітки: хімічних, гомогенних, гетерогенних, плазми, реакцій, проведення, спосіб, використанням

Формула / Реферат:

1. Спосіб проведення хімічних реакцій, який полягає в тому, що подають реакційний газ з джерела реакційного газу у вакуумну реакційну камеру, формують в ній надзвуковий потік реакційного газу і активують зазначений надзвуковий потік реакційного газу шляхом дії на нього електронним пучком з утворенням електронно-пучкової плазми, який відрізняється тим, що зазначений надзвуковий потік реакційного газу формують таким чином, що на вході у...

Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, камера реактора для осаджування алмазоподібного вуглецю та катодний блок камери

Завантаження...

Номер патенту: 47445

Опубліковано: 15.07.2002

Автори: Коутс Дон Мейо, Арчулета Томас Артур, Барберо Роберт Стівен, Девлін Девид Джеймс

МПК: C23C 16/26, C23C 16/54, D06M 10/00 ...

Мітки: вуглецем, камери, блок, реактора, волокна, спосіб, вуглецю, алмазоподібного, катодний, непровідного, покриття, алмазоподібним, камера, осаджування

Формула / Реферат:

1. Спосіб покриття непровідного волокна алмазоподібним вуглецем, який включає переміщення непровідного волокна між електродами усередині камери реактора,введення вуглеводневого газу у  камеру ректора, генерацію плазми усередині камери реактора та формування покриття непровідного матеріалу алмазоподібним вуглецем, який відрізняється тим, що непровідне волокно переміщують усередині камери реактора між двома паралельними металевими сітками...

Спосіб одержання підкладки з пароізоляційними властивостями плазменною обробкою, пристрій для плазменної обробки підкладки та пристрій для нанесення пароізоляційного покриття на підкладку

Завантаження...

Номер патенту: 26761

Опубліковано: 12.11.1999

Автори: Чесем Роберт Худ Ііі, КАНТРІВУД Джозеф, НЕЛСОН Роберт Дж., Фелтс Джон Т

МПК: C23C 16/40, C23C 16/54

Мітки: обробки, одержання, пароізоляційного, пристрій, обробкою, нанесення, спосіб, пароізоляційними, підкладку, підкладки, покриття, плазменною, плазменної, властивостями

Формула / Реферат:

1. Способ получения подложки с пароизоляционными свойствами плазменной обработкой, включающий подачу в вакуумную камеру подложки, образование в камере плазмы тлеющего разряда из летучего кремнийорганического соединения, кислорода и инертного газа, при пониженном давлении, отличающийся тем, что в камере поддерживают давление менее 13,3Па (0,1Торр), ограничивают плазму до полосы, имеющей расстояние дельта в одном измерении не более 30...