C23C 14/35 — з використанням магнітного поля, наприклад розпорошення магнетроном

Номер патенту: 116064

Опубліковано: 25.01.2018

Автори: Пас Сержіо, Шалє Даніель, Шміц Бруно, Сільберберґ Ерік, Ванден Ейнде Ксавьє

МПК: C23C 14/16, C23C 14/02, C23C 14/35, C23C 28/00 ...

Мітки: виготовлення, спосіб, підкладка, багатошарова

Формула / Реферат:

1. Підкладка, що забезпечена множиною шарів, принаймні один з яких включає оксиди металів, і безпосередньо покрита шаром металевого покриття, що містить принаймні 8 мас. % нікелю і принаймні 10 мас. % хрому, причому решта є залізом, додатковими елементами і домішками, що виникають в процесі виготовлення, при цьому зазначений шар металевого покриття має безпосередньо поверх себе шар протикорозійного покриття.2. Підкладка за...

Номер патенту: 114865

Опубліковано: 10.08.2017

Автори: Рибак Стефан Олександрович, Студеняк Віктор Ігорович, Студеняк Ігор Петрович, Мікула Маріан, Куш Петер, Ізай Віталій Юрійович

МПК: C23C 14/35, H01M 6/18

Мітки: одержання, cu6ps5i, міді, основі, тонких, плівок, матеріалу, йодид-пентатіофосфату, спосіб, енергії, високопровідних, твердоелектролітичного, джерела

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання високопровідних тонких плівок на основі йодид-пентатіофосфату міді Cu6PS5I як матеріалу для твердоелектролітичного джерела енергії, який відрізняється тим, що напилення здійснюють одночасно з двох магнетронів, в одному з яких використовують мішень з суперіонного матеріалу пресованого порошку Cu6PS5I, а в іншому мішень з чистої міді.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що величину електропровідності тонких...

Номер патенту: 113185

Опубліковано: 10.01.2017

Автор: Медяний Василь Уліянович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/34, C23C 14/35 ...

Мітки: установок, вакуумних, обертання, механізм

Формула / Реферат:

1. Механізм обертання для вакуумних установок, який розташований у корпусі (17) вакуумної камери та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття, який відрізняється тим, що містить ведучий вал (1), не менш ніж чотири вузли обертання (2, 3, 4, 5), а обертовий пристрій виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса (8), і цей циліндричний горизонтальний каркас (8) горизонтально встановлений на...

Номер патенту: 112500

Опубліковано: 12.09.2016

Автори: Слюсар Денис Віталійович, Колесник Володимир Петрович, Колесник Валерій Володимирович

МПК: H01J 37/08, C23C 14/35

Мітки: покриттів, отримання, багатокомпонентних, пристрій, багатошарових

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання багатокомпонентних, багатошарових покриттів, який містить магнітну систему, що є складовою частиною вакуумної камери, по осі якої розташований анод, коаксіально якому розташовані полюсні наконечники магнітної системи та електромагніти, катоди-мішені, виготовлені з компонентів, що становлять багатокомпонентне покриття, торцеві фланці, магнітопроводи, утримувачі деталей, який відрізняється тим, що корпус вакуумної...

Номер патенту: 111931

Опубліковано: 24.06.2016

Автори: Кузьмак Роман Миронович, Гайдучок Володимир Григорович, Самойлов Антон Володимирович, Сугак Дмитро Юрійович, Качур Наталія Володимирівна, Копко Богдан Миколайович, Маслов Володимир Петрович

МПК: C23C 14/35, G02B 1/10, C23C 14/08 ...

Мітки: багатошарового, покриття, спосіб, оптичні, елементи, інтерференційного, нанесення

Формула / Реферат:

Спосіб нанесення багатошарового інтерференційного покриття на оптичні елементи, який включає розрахунок конструкції інтерференційного покриття, розміщення вихідних оксидних плівкоутворюючих матеріалів у тиглях карусельного механізму установки електронно-променевого напилювання у вакуумі, електронно-променевим способом у вакуумі на поліровану поверхню оптичної деталі послідовно напилюють та контролюють товщину спочатку плівки з великим...

Номер патенту: 106632

Опубліковано: 25.04.2016

Автори: Назарчук Світлана Степанівна, Маслов Володимир Петрович, Туру Тетяна Анатоліївна, Дунаєвський Вадим Іванович, Качур Наталія Володимирівна

МПК: G01B 11/06, C23C 14/08, C23C 14/35 ...

Мітки: індію, елемента, оксиду, прозорого, олова, основі, нагрівального, тонкоплівкового, спосіб, контролю

Формула / Реферат:

Спосіб контролю однорідності товщини виготовлених тонкоплівкових прозорих електропровідних покриттів на основі оксидів індію та олова, який полягає в визначенні показника оптичного пропускания, який відрізняється тим, що як випромінювання використовують поляризоване світло, а топологію розподілу неоднорідності товщини визначають за допомогою аналізатора поляризованого світла, яке пройшло через зразок з покриттям.

Номер патенту: 103918

Опубліковано: 12.01.2016

Автори: Солован Михайло Миколайович, Майструк Едуард Васильович, Козярський Іван Петрович, Ковалюк Тарас Тарасович, Брус Віктор Васильович, Козярський Дмитро Петрович, Мостовий Андрій Ігорович, Мар'янчук Павло Дмитрович

МПК: C23C 14/35, H01L 33/00

Мітки: одержання, плівок, спосіб, czts, cu2znsns4, тонких

Формула / Реферат:

Спосіб одержання тонких плівок Cu2ZnSnS4, що включає напилення на підкладки з металевих мішеней (Zn, Sn, Сu) та подальшу сульфатацію шляхом відпалу протягом 5 хвилин в парах сірки, який відрізняється тим, що як мішені використовують сплав Cu2ZnSn (99,99 %) стехіометричного складу для подальшого нанесення плівки, яку піддають процесу сульфатації шляхом відпалу при 450±5 °C в парах сірки.

Номер патенту: 108472

Опубліковано: 12.05.2015

Автор: Білльєре Домінік

МПК: C23C 14/32, C23C 14/34, C23C 14/35, C23C 4/10 ...

Мітки: спосіб, одержання, напиленням, плазмовим, мішені

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання мішені плазмовим напилюванням за допомогою плазмового пальника, причому вказана мішень містить щонайменше одну сполуку на основі молібдену, який відрізняється тим, що за допомогою  плазмового напилення в атмосфері інертного газу напилюють на щонайменше одну частину поверхні мішені щонайменше одну фракцію вказаної сполуки у вигляді порошкової композиції вказаної сполуки, і тим, що під час створення мішені використовують...

Номер патенту: 105979

Опубліковано: 10.07.2014

Автори: Аксьонов Іван Іванович, Білоус Віталій Арсентійович, Аксьонов Дмитро Сергійович

МПК: C23C 16/00, C23C 16/54, C23C 14/35 ...

Мітки: пристрій, вихідного, транспортування, отвору, вакуумно-дугових, плазмових, потоків, плазми, джерел

Формула / Реферат:

1. Пристрій для транспортування плазмових потоків від вакуумно-дугових джерел плазми до вихідного отвору, який містить два вхідних і один вихідний плазмоводи у вигляді відрізків труб, з'єднаних між собою і охоплених електромагнітними котушками, і електромагнітний засіб в місці з'єднання плазмоводів для створення магнітного поля, відбиваючого плазму від стінок вхідних плазмоводів в області їх з'єднання, який відрізняється тим, що зазначений...

Номер патенту: 105835

Опубліковано: 25.06.2014

Автори: Колесник Володимир Петрович, Колесник Валерій Володимирович, Ткаченко Володимир Андрійович

МПК: C23C 14/35, H01J 37/08

Мітки: отримання, покриттів, пристрій, багатошарових, багатокомпонентних

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання багатокомпонентних багатошарових покриттів поверхонь деталей, що складається з вакуумної камери, катодів-мішеней, анода та магнітної системи, який відрізняється тим, що магнітна система є складовою частиною вакуумної камери, торцеві фланці якої виготовлені з магнітного матеріалу та з'єднані магнітопроводами, на яких розташовані електромагніти, при цьому по осі вакуумної камери розташований анод, коаксіально якому...

Номер патенту: 90842

Опубліковано: 10.06.2014

Автор: Першин Юрій Павлович

МПК: G02B 1/10, C23C 14/35, C23C 28/00 ...

Мітки: дзеркалах, складу, зон, спосіб, рентгенівських, перемішаних, оцінки, багатошарових

Формула / Реферат:

1. Спосіб оцінки складу перемішаних зон в багатошарових рентгенівських дзеркалах, що полягає у нанесенні серії періодичних дзеркал на підкладки із змінною товщиною одного з компонентів, визначенні усадки періоду і порівнянні її з розрахунковими значеннями, який відрізняється тим, що разом з періодичним дзеркалом на кожну підкладку напилюють додаткове багатошарове дзеркало з іншою товщиною компонента змінної товщини, а усадку знаходять по...

Номер патенту: 90841

Опубліковано: 10.06.2014

Автори: Першин Юрій Павлович, Кондратенко Валерій Володимирович, Севрюков Денис Валерійович, Девізенко Олександр Юрійович

МПК: G02B 1/10, C23C 14/35, C23C 28/00 ...

Мітки: рентгенівське, дзеркало, багатошарове

Формула / Реферат:

1. Багатошарове рентгенівське дзеркало, яке складається з почергових основних шарів двох або більше матеріалів і бар'єрних шарів, розташованих щонайменше на одній з міжфазних меж основних шарів, яке відрізняється тим, що бар'єрний шар складається зі сплаву проникнення з атомною щільністю більше 90 атомів/нм3.2. Багатошарове рентгенівське дзеркало за п. 1, яке відрізняється тим, що бар'єрний шар складається з бориду, карбіду, нітриду...

Номер патенту: 90122

Опубліковано: 12.05.2014

Автори: Заяць Юрій Львович, Коваленко Валентина Володимирівна, Пшінько Павло Олександрович, Коваленко Сергій Володимирович

МПК: C23C 14/22, C23C 14/34, C23C 14/48, C23C 14/35 ...

Мітки: катоду, напилювання, процесі, енергії, іонно-плазмового, додаткової, спосіб, надання

Формула / Реферат:

Спосіб надання додаткової енергії катоду в процесі іонно-плазмового напилювання, що включає застосування у робочій камері катода, анода, магнітної системи з охолодженням, розпилення матеріалу катода за рахунок бомбардування його атомами газів або їх сумішшю при наданні катоду-мішені додаткової енергії у розрахунок на атом речовини згідно з формулою (0,1-1,1) k Тпл, де Тпл - температура плавлення речовини мішені, K; k=8,625×10-5...

Номер патенту: 87404

Опубліковано: 10.02.2014

Автор: Медяний Василь Уліянович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/50, C23C 14/00, C23C 14/35 ...

Мітки: нанесення, камери, покриттів, вакуумний, пристрій, деталі, вироби, обертання

Формула / Реферат:

1. Пристрій обертання для нанесення покриттів на деталі або на вироби у вакуумній камері, який містить пристосування для кріплення деталей або виробів, зачіплюючі механізми, з'єднуючі елементи, який відрізняється тим, що він містить з'єднані балками на відстані одна від одної передню підковоподібну пластину та задню підковоподібну пластину, кожна з яких розташована своєю відкритою частиною вгору, і встановлені на передній підковоподібній...

Номер патенту: 103692

Опубліковано: 11.11.2013

Автори: Аксьонов Дмитро Сергійович, Аксьонов Іван Іванович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35, C23C 4/12 ...

Мітки: пристрій, вакуумно-дугової, потоків, транспортування, плазми

Формула / Реферат:

1. Пристрій для транспортування потоків вакуумно-дугової плазми, який включає плазмовід з вхідною і вихідною секціями у вигляді відрізків труб, охоплених основними електромагнітними котушками для створення транспортуючого магнітного поля, який відрізняється тим, що вхідна секція плазмоводу має кришку і дно, вихідна секція плазмоводу з'єднана з вхідною секцією через вихідний осьовий отвір у її дні, кришка вхідної секції має принаймні два...

Номер патенту: 103465

Опубліковано: 25.10.2013

Автори: Тюрін Юрій Миколайович, Колісніченко Олег Вікторович

МПК: C23C 14/34, C21D 1/04, C21D 9/38 ...

Мітки: прокатних, обробки, поверхні, валків, спосіб

Формула / Реферат:

1. Спосіб обробки поверхні прокатних валків, що включає деформування, хіміко-термічну й магнітно-імпульсну обробку, який відрізняється тим, що деформування, хіміко-термічну й магнітно-імпульсну обробки суміщають за циклом і здійснюють високошвидкісним плазмовим струменем, що комутує електричний струм між електродами плазмотрона й поверхнею прокатного валка через шар ударно-стиснутої плазми.2. Спосіб обробки поверхні прокатних валків...

Номер патенту: 102635

Опубліковано: 25.07.2013

Автори: Васін Андрій Володимирович, Русавський Андрій Вадимович, Локшин Михайло Маркович, Лисенко Володимир Сергійович, Назаров Олексій Миколайович

МПК: C23C 14/35, C09K 11/65, H01L 21/203 ...

Мітки: фотолюмінісцентного, рідкісноземельних, містить, спосіб, шару, одержання, металів

Формула / Реферат:

Спосіб одержання фотолюмінісцентного шару, що включає формування шару пористого двоокису кремнію з вуглецем, який відрізняється тим, що об'єкт довільної форми, на якому потрібно сформувати шар люмінофору, розташовують у вакуумній камері установки магнетронного розпорошення, наповнюють вакуумну камеру газовою сумішшю Аr/СН4 та розпорошують встановлену у камері кремнієву мішень у суміші Аr/СН4 при температурі об'єкта 180-220 °C, доки...

Номер патенту: 79343

Опубліковано: 25.04.2013

Автори: Бандура Іван Миколайович, Ульянов Євгеній Юрійович

МПК: C23C 14/35

Мітки: імпульсного, електроживлення, джерела, система, плазми

Формула / Реферат:

Система електроживлення імпульсного джерела плазми, яка містить систему живлення, анод, та послідовно з'єднані підпалювач та катод, яка відрізняється тим, що містить блок баластних резисторів, вихід якого з'єднаний з входом блока конденсаторних батарей, вихід якого з'єднаний з катодом, система живлення складається з трьох послідовно з'єднаних підсилювачів, вихід третього з'єднано з входом блока баластних резисторів, а другий вихід другого...

Номер патенту: 101443

Опубліковано: 25.03.2013

Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Васильєв Володимир Васильович

МПК: C23C 14/35, H05H 1/50, C23C 14/00 ...

Мітки: анодний, вузол, джерела, катодної, плазми, вакуумно-дугового

Формула / Реферат:

1. Анодний вузол вакуумно-дугового джерела катодної плазми, що містить, охоплений фокусуючою електромагнітною котушкою, анод, виконаний у вигляді відрізка труби, усередині якого коаксіально йому розміщена в електропровідному кожусі електромагнітна відхиляюча котушка, з напрямом магнітного поля назустріч магнітному полю фокусуючої електромагнітної котушки, усередині відхиляючої котушки, на її осі поблизу її торця, зверненого до вхідного...

Номер патенту: 98909

Опубліковано: 25.06.2012

Автори: Панарін Валентин Євгенович, Свавільний Микола Євгенович, Хомінич Анастасія Іванівна

МПК: B01J 19/08, B82B 3/00, B01J 3/03 ...

Мітки: пристрій, синтезу, вуглецевих, вакуумного, наноструктур

Формула / Реферат:

Пристрій для вакуумного синтезу вуглецевих наноструктур, який містить джерело вуглецевмісної плазми, плазмовід у вигляді вакуумної труби, що під'єднана до джерела плазми, магнітний сепаратор потоку плазми, який складається з котушок, що розміщені повздовж плазмоводу з забезпеченням можливості повороту потоку плазми на 90°, підкладку, закріплену на підігрівному столику, який встановлений на виході плазмоводу перпендикулярно потоку плазми і...

Номер патенту: 97584

Опубліковано: 27.02.2012

Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Васильєв Володимир Васильович

МПК: C23C 14/35

Мітки: плазми, вакуумно-дугової, макрочасток, транспортування, спосіб, катодної, фільтруванням, пристрій, здійснення

Формула / Реферат:

1. Спосіб транспортування вакуумно-дугової катодної плазми із фільтруванням від макрочасток в плазмооптичній системі, створеній із трубчастих електродів, під дією транспортуючого магнітного поля, яке створюють з використанням електромагнітних котушок, що охоплюють трубчасті електроди плазмооптичної системи, який відрізняється тим, що транспортуюче магнітне поле має як сталу так і додаткову змінну складову, сталу складову транспортуючого...

Номер патенту: 97000

Опубліковано: 26.12.2011

Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Аксьонов Дмитро Сергійович, Аксьонов Іван Іванович

МПК: C23C 4/12, C23C 4/00, C23C 14/35 ...

Мітки: плазми, потоків, здійснення, вакуумно-дугової, пристрій, спосіб, транспортування

Формула / Реферат:

1. Спосіб транспортування потоків вакуумно-дугової плазми, за яким плазмові потоки пропускають через плазмовід, в якому діють на них основним транспортуючим магнітним полем, що утворюють електромагнітною котушкою з ділянкою внутрішнього поля, утворюваного всередині основного поля і направленого назустріч напрямку основного поля, який відрізняється тим, що на плазмові потоки, принаймні на одній ділянці плазмоводу з боку його вхідного отвору,...

Номер патенту: 93833

Опубліковано: 10.03.2011

Автор: Гришкевич Олександр Дмитрович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/35

Мітки: іонно-плазмовий, гібридного, типу, пристрій

Формула / Реферат:

Іонно-плазмовий пристрій для нанесення біметалевого покриття на внутрішню поверхню феромагнітної труби, який складається з торцевого вакуумно-дугового випарювача і планарного магнетронного розпилювача з відповідними струмовідводами, газовими трубками, системами електричного живлення, керування і охолодження, який відрізняється тим, що застосовано магнетронний розпилювач радіального типу з конічним катодом, що вершиною обернений до...

Номер патенту: 57053

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Севрюкова Вікторія Анатоліївна, Зубарєв Євгеній Миколайович, Кондратенко Валерій Володимирович, Першин Юрій Павлович

МПК: C23C 14/35, G01N 23/083, C23C 28/00 ...

Мітки: багатошарових, виготовлення, дзеркал, спосіб, рентгенівських

Формула / Реферат:

1. Спосіб виготовлення багатошарових рентгенівських дзеркал, який полягає у вакуумуванні установки, напуску розпиляючого газу до робочого тиску, подачі напруги на мішені, які розпиляються, для підпалу розрядів і почерговому нанесенні шарів двох або більше речовин на підкладку, який відрізняється тим, що при нанесенні шарів робочий тиск і відстань мішень-підкладка вибирають так, щоб їх добуток знаходився в межах від 3 до 20...

Номер патенту: 93471

Опубліковано: 10.02.2011

Автори: Гришкевич Олександр Дмитрович, Гринюк Станіслав Іванович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/56

Мітки: іонно-плазмова, установка

Формула / Реферат:

Іонно-плазмова установка для нанесення біметалевих покриттів з періодичною шаруватою структурою, що містить вакуумну камеру з системою вакуумної відкачки, трубки для подачі газу, карусельний тримач виробів, два прямокутні магнетронні розпилювачі з системою електричного живлення, що містить струмовідводи, джерело живлення магнетронного розряду і джерело напруги зміщення з пристроєм синхронізації системи живлення, яка відрізняється тим, що...

Номер патенту: 92525

Опубліковано: 10.11.2010

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Мокренко Олександр Анатолійович

МПК: H01J 27/02, C23C 14/24, C23C 14/35 ...

Мітки: підкладки, розпилювальний, надпоруватих, пристрій, вакуумі, речовин, нанесення, слабколетких, покриттів, плоскі, металів

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...

Номер патенту: 92032

Опубліковано: 27.09.2010

Автори: Золотухін Олександр Віталійович, Ломакін Тихон Михайлович

МПК: C23C 14/32, C23C 14/35, C23C 14/24 ...

Мітки: електропровідні, спосіб, декоративних, покриттів, нанесення, вироби, захисних

Формула / Реферат:

Спосіб нанесення захисних і декоративних покриттів на електропровідні вироби, що включає попередню обробку виробів, які покривають, розміщення їх у вакуумній реакційній камері, досягнення тиску технічного вакууму і температури приблизно 300 °С, створення у камері аномального тліючого розряду, який відрізняється тим, що вироби розміщують на металевій арматурі, що обертається, яка підключена до джерела високої і опорної напруги через...

Номер патенту: 49697

Опубліковано: 11.05.2010

Автори: Ніколаєнко Юрій Макарович, Мухін Олексій Борисович

МПК: C23C 14/35

Мітки: розпилення, мішеней, магнетронного, установка, вакуумна

Формула / Реферат:

1. Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней, головним чином для забезпечення умов епітаксійного росту багатокомпонентних плівок, наприклад, на основі манганитів, що містить: три магнетрони з примусовим водяним охолодженням, підведенням високовольтної напруги і накидними гайками для кріплення мішеней, які розміщені в металевому корпусі циліндричної форми, що герметично закривається зверху вакуумним ковпаком з прозорими вікнами...

Номер патенту: 90151

Опубліковано: 12.04.2010

Автори: Ломакін Тихон Михайлович, Золотухін Олександр Віталійович

МПК: C23C 14/32, C23C 14/24, C23C 14/00 ...

Мітки: одержання, захисних, спосіб, декоративних, покриттів

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання захисних і декоративних покриттів на виробах, що включає нагрів і попередню обробку виробів з розміщенням їх у вакуумній камері і вакуумування, який відрізняється тим, що після вакуумування проводять мікроочистку у плазмі аномального тліючого розряду при тиску від 2 до 6 Па у повітряній атмосфері або атмосфері, що містить 72 % азоту, 18 % кисню та 10 % аргону, при іонному струмі 0,2-1 мА/см2 протягом 5-15 хвилин, після...

Номер патенту: 87880

Опубліковано: 25.08.2009

Автори: Стрельницький Володимир Євгенійович, Васильєв Володимир Васильович, Аксьонов Дмитро Сергійович, Аксьонов Іван Іванович

МПК: C23C 14/56, C23C 14/00, C23C 14/35 ...

Мітки: плазми, джерело, вакуумно-дугове

Формула / Реферат:

1. Вакуумно-дугове джерело плазми, що включає еродуючий катод, анод, охоплений електромагнітною фокусуючою котушкою, прямолінійний плазмовід, охоплений зовнішньою електромагнітною транспортуючою котушкою, всередині якого розташована внутрішня електромагнітна відхиляюча котушка з осьовим каналом і підключенням її до джерела електроструму зустрічно до підключення транспортуючої котушки, яке відрізняється тим, що осьовий канал внутрішньої...

Номер патенту: 37359

Опубліковано: 25.11.2008

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Дьошин Борис Вікторович, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Мокренко Олександр Анатолійович

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, покриттів, пристрій, вакуумі

Формула / Реферат:

Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в...

Номер патенту: 83371

Опубліковано: 10.07.2008

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Корнющенко Ганна Сергіївна, Перекрестов В'ячеслав Іванович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/34, C23C 14/22 ...

Мітки: електропровідних, матеріалів, спосіб, шарів, надпоруватих, одержання

Формула / Реферат:

Спосіб одержання надпоруватих шарів електропровідних матеріалів, який включає перехід речовини з конденсованого стану в стан пари і конденсацію на підкладку за умов наближення до фазової рівноваги системи пара-конденсат при відповідних підвищених температурах осадження, який відрізняється тим, що пари речовини іонізують і конденсацію проводять на підкладку, до якої підводять від'ємний потенціал, та на поверхню росту кристалу діють потоком...

Номер патенту: 33539

Опубліковано: 25.06.2008

Автор: Бернацький Віктор Антонович

МПК: C23C 14/35

Мітки: тонких, напівпровідникових, отримування, плівок, спосіб

Формула / Реферат:

Спосіб отримування тонких напівпровідникових плівок, який полягає в реактивному магнетронному розпиленні (РМР) металічної мішені в газовій суміші активного та інертного газів, який відрізняється тим, що в центральній частині мішені, яка не піддається магнетронному розпиленню, розміщують рідкий галій (Ga) з активатором і проводять термічне випаровування активаторів з нижчою температурою випаровування, ніж у Ga.

Номер патенту: 83263

Опубліковано: 25.06.2008

Автори: Коваленко Валентина Володимирівна, Ковтун Володимир Васильович, Калінушкін Євген Павлович

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35, C23C 14/48, C23C 14/22 ...

Мітки: іонно-плазмового, здійснення, спосіб, напилювання, пристрій, варіанти

Формула / Реферат:

1.Спосіб іонно-плазмового напилювання з одержанням плівок зносостійких і функціональних матеріалів, який включає застосування у робочій камері катода, анода, магнітної системи з охолодженням, розпилення матеріалу катода за рахунок бомбардування його атомами газів або їх сумішшю, який відрізняється тим, що катоду-мішені додають додаткову енергію у розрахунку на атом речовини згідно з формулою: (0,1-1,1)·k·Тпл, де Тпл -...

Номер патенту: 80775

Опубліковано: 25.10.2007

Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Корнющенко Ганна Сергіївна

МПК: C23C 14/35

Мітки: конденсатів, формування, вакуумних, пристрій

Формула / Реферат:

Пристрій для формування вакуумних конденсатів, що містить анод, за який використані стінки робочої камери, охолоджуваний водою катодний вузол циліндричної форми, який складається з мішені, виготовленої із розпилювального матеріалу, тримача мішені і магнітної системи у вигляді постійних магнітів, які забезпечують формування необхідної конфігурації магнітного поля безпосередньо над поверхнею розпилювальної мішені, та підкладку, який...

Номер патенту: 77692

Опубліковано: 15.01.2007

Автори: Кравченко Олександр Іванович, Бедюх Олександр Радійович, Кучеренко Євген Трохимович

МПК: C23C 14/35, H01J 37/32

Мітки: розпилюючий, магнетронний, пристрій

Формула / Реферат:

Магнетронний розпилюючий пристрій, що має розрядну камеру, магнітну систему з мішенню-катодом, анод, підкладкотримач та джерело живлення постійного струму, який відрізняється тим, що введена друга магнітна система з мішенню, розташована під кутом 60° - 120° до першої магнітної системи та додаткове джерело живлення, причому перше джерело живлення – низькочастотне, а додаткове – високочастотне, і обидва джерела живлення паралельно підключені до...

Номер патенту: 77299

Опубліковано: 15.11.2006

Автори: Тимошенко Олександр Іванович, Чечельницький Олег Гурійович, Таран Валерій Семенович

МПК: H01J 37/32, C23C 14/35, H05H 1/46 ...

Мітки: скривленими, каналами, вакуумний, пристрій, плазмовими, електродуговий

Формула / Реферат:

1. Вакуумний електродуговий пристрій із скривленими плазмовими каналами, який включає два зустрічних джерела плазми з фокусуючими електромагнітними котушками, які з'єднані з плазмоводом, охопленим принаймні одною відхиляючою електромагнітною котушкою, який має вихідну електромагнітну котушку, яка охоплює його вихідний отвір, який відрізняється тим, що витки відхиляючих котушок зігнуті так, що одна половина кожного витка охоплює плазмовід між...

Номер патенту: 77061

Опубліковано: 16.10.2006

Автори: Кабін Олександр Вікторович, Кудлай Володимир Олександрович, Бєрдиєв Курбан Ходжа огли, Казіміров Микола Миколайович

МПК: C23C 14/35, H01J 25/00

Мітки: пристрій, розпилення, матеріалів, магнетронного

Формула / Реферат:

1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить систему охолодження, Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом і розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, екрани над магнітною системою, замкнену в ланцюг мішень, розпилювана поверхня якої розміщена між оберненими до неї полюсами магнітів, який...

Номер патенту: 76257

Опубліковано: 17.07.2006

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна

МПК: C23C 14/35

Мітки: нанесення, розпилювальний, вакуумі, пристрій, покриттів

Формула / Реферат:

1. Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді немагнітного герметичного циліндричного корпусу, розташований співвісно аноду пустотілий катод з корпусом у вигляді зрізаного конуса, а також встановлену всередині немагнітного герметичного циліндричного корпусу анода водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного циліндричного постійного магніту, до торця якого приєднаний фокусуючий...

Номер патенту: 69974

Опубліковано: 15.09.2004

Автори: Перекрестов В'ячеслав Іванович, Космінська Юлія Олександрівна, Побєдін Олександр Юрійович

МПК: C23C 14/35

Мітки: вакуумі, покриттів, нанесення, пристрій, розпилювальний

Формула / Реферат:

Розпилювальний пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить анод у вигляді герметичного циліндричного корпусу, виконаного з немагнітного матеріалу, катод у вигляді пустотілого корпусу, прикріпленого до його основи, яка з'єднана з закріпленим на ізоляторі тримачем, і встановлену в герметичному циліндричному корпусі анода співвісно катоду водоохолоджувану магнітну систему у вигляді односекційного постійного магніту циліндричної форми,...