Бобков Володимир Валентинович

Спосіб вимірювання електронної температури плазми і пристрій для здійснення способу

Завантаження...

Номер патенту: 76789

Опубліковано: 15.09.2006

Автори: Алімов Святослав Сергійович, Залкінд Віктор Михайлович, Бобков Валентин Васильович, Онищенко Андрій Володимирович, Старовойтов Роман Іванович, Бобков Володимир Валентинович, Азарєнков Микола Олексійович

МПК: H05H 1/00

Мітки: способу, плазми, пристрій, здійснення, електронної, температури, спосіб, вимірювання

Формула / Реферат:

1. Спосіб вимірювання електронної температури плазми, який включає подання на занурений в плазму електричний зонд змінної напруги високої частоти, яка набагато менша від плазмової частоти електронів і яку попередньо модулюють по амплітуді, і детектування вимірювального сигналу, що формується зондовим струмом на ємності, який відрізняється тим, що вимірюють зондовий струм для двох різних значень амплітуди змінної напруги високої частоти,...