Патенти з міткою «магнетронного»

Трубний пристрій магнетронного розпилення матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 104556

Опубліковано: 10.02.2014

Автори: Кабін Євген Олександрович, Казіміров Микола Миколайович

МПК: C23C 14/00

Мітки: магнетронного, розпилення, пристрій, трубний, матеріалів

Формула / Реферат:

1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить охолоджувану зсередини мішень з замкненою в ланцюг розпилюваною поверхнею, розміщеною між оберненими до цієї поверхні протилежними полюсами Ш-подібної магнітної системи, що розташовані на верхній поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, причому магнітні полюси на довгих периферійних стінках магнітопроводу нахилені до мішені ззовні її, який відрізняється...

Пристрій магнетронного розпилення матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 104555

Опубліковано: 10.02.2014

Автори: Казіміров Микола Миколайович, Кабін Євген Олександрович

МПК: C23C 14/00

Мітки: пристрій, розпилення, матеріалів, магнетронного

Формула / Реферат:

1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить магнітну систему, яка складається з установлених з зазором один відносно одного щонайменше чотирьох елементів, щонайменше три з яких є постійними магнітами, а зовнішній магнітом'який магнітопровід виконаний в вигляді периферійної стінки, мішень з замкненою в ланцюги розпилюваною поверхнею, розміщеною між оберненими до цієї поверхні протилежними полюсами магнітів і магнітопроводу,...

Спосіб синтезу плівок фосфор-оксинітриду літію (lipon) для твердотільних літієвих акумуляторів методом високочастотного магнетронного напилення

Завантаження...

Номер патенту: 84897

Опубліковано: 11.11.2013

Автори: Білоус Анатолій Григорович, В'юнов Олег Іванович, Коваленко Леонід Леонідович

МПК: H01M 4/66, H01M 2/16, H01M 4/86 ...

Мітки: спосіб, високочастотного, напилення, методом, твердотільних, синтезу, lipon, плівок, літієвих, літію, акумуляторів, фосфор-оксинітриду, магнетронного

Формула / Реферат:

Спосіб синтезу плівок фосфор-оксинітриду літію (LiPON) для твердотільних літієвих акумуляторів методом високочастотного магнетронного напилення, який відрізняється тим, що для одержання одночасно високої іонної провідності () та відсутності тріщин синтез проводять при температурі підкладки 25-60 °C протягом 4-6 годин при ВЧ потужності напилення 2-2,5 В·см2 і тиску...

Порожнинний холодний катод магнетронного типу

Завантаження...

Номер патенту: 100822

Опубліковано: 25.01.2013

Автори: Кучеренко Євген Трохимович, Костюкевич Олександр Миколайович

МПК: H01J 17/00

Мітки: магнетронного, типу, порожнинний, катод, холодний

Формула / Реферат:

1. Порожнинний холодний катод, який виконаний у вигляді алюмінієвої циліндричної трубки з коаксіально встановленим всередині центральним електродом, що зв'язаний з анодом розрядного проміжку через опір, який більший за баластний опір розряду, та які розташовані у поздовжньому однорідному магнітному полі, який відрізняється тим, що введено додатковий циліндричний електрод більшого діаметра, ніж алюмінієва циліндрична трубка, який розташований...

Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію методом магнетронного розпилення

Завантаження...

Номер патенту: 62706

Опубліковано: 12.09.2011

Автори: Мельник Віктор Павлович, Попов Валентин Георгійович, Голтвянський Юрій Васильович, Оберемок Олександр Степанович, Гудименко Олександр Йосипович, Хацевич Ігор Мирославович, Нікірін Віктор Андрійович, Романюк Борис Миколайович

МПК: G02F 1/015

Мітки: магнетронного, методом, ванадію, термохромної, розпилення, виготовлення, спосіб, плівки, діоксиду

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення термохромної плівки діоксиду ванадію, який включає нанесення на підігріту до 200-250 °С підкладку у вакуумній камері шару аморфного оксиду ванадію і його кристалізацію шляхом термічного відпалу, який відрізняється тим, що шар аморфного оксиду ванадію наносять шляхом магнетронного розпорошення ванадієвої мішені в середовищі газової суміші Аr та О2, вміст якого складає 3-7 %, зі швидкістю напилення 5-15 нм/хв., а термічний...

Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней

Завантаження...

Номер патенту: 49697

Опубліковано: 11.05.2010

Автори: Мухін Олексій Борисович, Ніколаєнко Юрій Макарович

МПК: C23C 14/35

Мітки: розпилення, установка, мішеней, вакуумна, магнетронного

Формула / Реферат:

1. Вакуумна установка для магнетронного розпилення мішеней, головним чином для забезпечення умов епітаксійного росту багатокомпонентних плівок, наприклад, на основі манганитів, що містить: три магнетрони з примусовим водяним охолодженням, підведенням високовольтної напруги і накидними гайками для кріплення мішеней, які розміщені в металевому корпусі циліндричної форми, що герметично закривається зверху вакуумним ковпаком з прозорими вікнами...

Пристрій магнетронного розпилення матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 77061

Опубліковано: 16.10.2006

Автори: Казіміров Микола Миколайович, Кудлай Володимир Олександрович, Бєрдиєв Курбан Ходжа огли, Кабін Олександр Вікторович

МПК: H01J 25/00, C23C 14/35

Мітки: пристрій, розпилення, магнетронного, матеріалів

Формула / Реферат:

1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить систему охолодження, Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом і розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, екрани над магнітною системою, замкнену в ланцюг мішень, розпилювана поверхня якої розміщена між оберненими до неї полюсами магнітів, який...

Пристрій магнетронного розпилення матеріалів

Завантаження...

Номер патенту: 52326

Опубліковано: 16.12.2002

Автори: Кабін Олександр Вікторович, Казіміров Микола Миколайович, Гончарук Ігор Михайлович, Чернолуцький Дмитро Леонідович, Бєрдиєв Курбан Ходжаєвич

МПК: C23C 14/32

Мітки: матеріалів, пристрій, магнетронного, розпилення

Формула / Реферат:

1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить Ш-подібну магнітну систему з периферійних і центральних магнітів, які замкнені протилежними полюсами з магнітопроводом, кільцеподібну пласку мішень з катодом, розташовану паралельно площині верхніх країв магнітів в порожнині між стінками магнітної системи, який відрізняється тим, що магніти магнітної системи розташовані на внутрішній боковій поверхні периферійних стінок і боковій...

Магнітна система магнетронного розпилювального пристрою

Завантаження...

Номер патенту: 33751

Опубліковано: 15.02.2001

Автори: Павлов Андрій Володимирович, Перекрестов В'ячеслав Іванович, Кравченко Сергій Миколайович

МПК: H01J 25/00, C23C 14/35

Мітки: розпилювального, магнетронного, магнітна, пристрою, система

Текст:

...наступним. Рухома і нерухома пари магнітів створюють поблизу поверхні мішені, що розпилюється, магнітну індукцію, що паралельна поверхні мішені і перпендикулярна вектору напруженості електричного поля. Електрони, що знаходяться в цій області, рухаються по циклоїді поблизу поверхні мішені, і іонізують залишкові гази. Прискорені електричним полем іони бомбардують і при цьому розпилюють мішень. Більш високі значення індукції магнітного поля...

Магнітна система для магнетронного розпилюючого пристрою

Завантаження...

Номер патенту: 25437

Опубліковано: 30.10.1998

Автори: Бедюх Олександр Радійович, Кучеренко Євген Трофимович

МПК: H05K 3/14, C23C 14/35

Мітки: магнетронного, пристрою, розпилюючого, система, магнітна

Формула / Реферат:

1. Магнитная система для магнетронного распылительного устройства с чередующимися магнитными полюсами, ограничивающими замкнутый магнитный зазор, имеющая магнитопровод и закрепленный на нем по меньшей мере один постоянный магнит, отличающаяся тем, что магнитопровод снабжен замкнутым по периметру выступом и по меньшей мере еще одним дополнительным протяженным выступом от указанного замкнутого выступа внутрь контура, ограниченного этим...

Спосіб нанесення покриття багатокомпонентних сполук із плазми магнетронного розряду і пристрій для його здійснення

Завантаження...

Номер патенту: 13770

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Чорногорський Валерій Павлович, Владимиров Вадим Володимирович, Стеценко Борис Володимирович, Голома Віталій Володимирович, Панченко Олег Антонович

МПК: C23C 14/38

Мітки: плазми, магнетронного, нанесення, покриття, спосіб, багатокомпонентних, сполук, здійснення, розряду, пристрій

Формула / Реферат:

1. Способ нанесения покрытия многокомпо­нентных соединений из плазмы магнетронного разряда, включающий напуск реагирующего газа в напылительную камеру и последующую его от­качку, а также управление потоком газа, отлича­ющийся тем, что скорость откачки газа устанав­ливают равной критическому значению, а отноше­ние скоростей откачки и натекания реагирующего газа устанавливают постоянным в течение процес­са напыления.2. Способ по п.1,...