Патенти з міткою «lll-інтерферометрі»

Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі х-променевого муарового зображення в кремнієвому lll-інтерферометрі

Завантаження...

Номер патенту: 121378

Опубліковано: 11.12.2017

Автори: Яремчук Іванна Володимирівна, Литвин Петро Мар'янович, Фодчук Ігор Михайлович, Баловсяк Сергій Васильович

МПК: G06F 17/00, G01T 1/16, G06F 17/17 ...

Мітки: кремнієвому, муарового, полів, визначення, величини, основі, кристала, х-променевого, зображення, спосіб, lll-інтерферометрі, деформаційних

Формула / Реферат:

Спосіб визначення величини деформаційних полів кристала на основі розподілу інтенсивності Х-променевого муарового зображення f, отриманого в кремнієвому LLL-інтерферометрі, який полягає в тому, що для отримання фазового муару в інтерферометрі встановлюють однорідну клиноподібну пластину, на основі цифрового муарового зображення f обчислюють енергетичний спектр Фур'є Ps та його радіальний розподіл FR, а значення максимальної зосередженої сили...