Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Электропроводящая паста, содержащая бо­рид никеля, неорганическое связующее и органи­ческое связующее, отличающаяся тем, что, с целью повышения стойкости к длительным и мно­гократным вжиганиям при сохранении высокой адгезии к подложке и низкого электросопротивления проводников, она содержит в качестве борида ни­келя Ni2B (I), а в качестве неорганического связу­ющего диоксид кремния при следующем соотношении компонентов, мас.%:

борид никеля I                                  83,0-87,0

диоксид кремния                              0,5-2,5

органическое связующее                 12,0-15,0

Текст

Дивитися

Изобретение относится к толстопленочной микроэлектронике и может быть использовано для изготовления 'электропроводящих слоев методом трафаретной печати. Цель изобретения Изобретение относится к толстопленоччой микроэлектронике и может быть использовано для изготовления электропроводящих слоев методом трафаретной печати. Цель изобретения - повышение стойкости к длительным и многократном вжиганиям при сохранении высокой адгезии к подложке и низкого электросопротивления проводников. Борид никеля формулы Кі-В измельчают в планетарной мельнице совместно с диоксидом кремния до получения порошка с удельной поверхностью 60008000 см 2 /г и перетирают в агатовой ступке или на пастотерке с органическим связующим до получения однородной пасты. Пасту наносят на керамические подложки методом трафаретной печати и вжигают на воздухе в коьвейерной печи типа СК—10/16 или ПЭК-8 при 750-900°С. 29-91 повышение стойкости к длительным и многократно вжиганиям при сохранении высокой адгезии к подложке и низкого электросопротивления проводников. Электропроводящая паста, содержащая борид никеля NigB, диоксид кремния и органическое связующее, обеспечивает получение электропроводящих слоев с удельным поверхностным электросопротивлением 0,009-0,021 Ом/кв и адгезией к поверхности алюмооксидной керамики 130-200 кгс/см2 при вжигании |в течение 10-60 мин или 1-J5 циклов в диапазоне температур 750-900 С. 6 табл. Составы пасты и характеристики проводящих слоев представлены в табл. 1 - 6 . Дополнительным преимуществом изобретения является совместимость электропроводящей пасты на основе соединения никеля с сереоропалладиевыми проводниками при температурах вжигания 710-850°С, что позволяет применять облуживание контактных площадок и пайку навесных элементов при из готовлений многоуровневых микросборок за счет образования на поверхности никелевого проводника серебропалладневого слоя. Паста обеспечивает получение электропроводящих сиоев с удельным поверхностным электросопротивлением 0,009-0,021 Ом/О (у прототипа 0,0160,16 Ом/0) и адгезией к поверхности алюмооксидной керамики типа ВК-94-1 более 120 кгс/см 2 . Паста обеспеччва 00 1669316 ет укачанные электрофизические свойства при тзжигании в течение 10 60 мин или в течение 1-15 циклов вжиглиия £ интервале температур 7 50900 1 С. Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я ным и многократным вжиганиям при сохранении высокой адгезии к гТодложке и низкого электросопротивления проводников, она содержит в качестве борида никеля Ni^B (і), а В качестве неорганического связующего диоксид кремния при следующем соотношении компонентов, мас.%: Электропроводящая паста, содержаБорид никеля I 83,0 - 87,0 щая борид никеля, неорганическое свя- і о Диоксид кремния 0,5 - 2,5 зующее и органическое связующее, Органическое свяо т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с зующее целью повышения стойкости к длитель12,0 - 15,0 Т а б л и ц а 1 Составы электропроводящей пасты на основе борида никеля и электрофизические параметры покрытий при температуре вжигания 850 С и выдержке 10 мин Состав SiO, Прототип 1 Удельное поверхностное органичес- электросопрокое связую- тивление, п , Ом/о ' щее Массовая доля компонентов, % і Адгезия к поверхности злюмооксидной керамики, G , кгс/см 2 0,016-0,150 •• хорошая 83 2 15 0,015 167 2 85 1,5 13,5 158 3 85,5 2,5 п 0,014 0,015 4 87 0,5 12,5 0,009 143 5 82,5 2,5 15 0,028 171 6' 83 3 Н 0,031 212 7 0,5 16 0,020 83 8 83,5 84,7 0,3 15 0,023 69 9 87 2 11 10 87,5 0,5 12 . 164 Разрывы проводниковой пленки 0,010 92 Т а б л и ц а Влияние температуры вжигания на свойства проводников (время вьщержки 10 мин) 7 50° С Состав OM/D 2 Ю*»кгс/см р.,Ом/П 6,кгс/см 138 3 0,020 0,020 0,021 4 0,019 1-0 1 2 850° С 810°С 128 133 0,018 0,018 0,020 0,016 2 2 900°С р6,0м/0 (;,кгс/см 140 0, 015 167 130 о,014 158 147 0 , 015 16А 139 0 , 009 143 2 1 Й5,0м/а Ю,кгс/см 0,013 0,014 0,013 0,007 206 194 204 208 1669316 Т а б л и ц а 3 Влияние времени выдержки при 8501- С на электрофиэнческне параметры пасты 10 мин Ре Ом/Ь б,кгс/см 1 PVOM/Q кгс/см 2 Прототип 0,016 1 0,015 167 0,015 2 0,014 158 0,014 3 0,015 164 4 0,009 ИЗ P S ,OM/Q со 169 > 0,016 60 мин 30 мин 20 мин Ом/О MJ,кгс/см 1 (J,КГС/СМ* 0,014 174 0,014 186 161 0,013 164 0,013 179 0,015 168 о,он 172 181 0,010 156 0,012 162 0,014 0,012 180 . Т а б л и ц а 4 Удельное поверхностное сопротивление проводников в зависимости от количества циклов вжигаиия при 8S0°C в течение 10 мин Удельное поверхностное сопротивление проводников, 0м/о Состав Количесто циклов вжигания, шт. 15 Прототип 0 , 016 — — — ~ — 1 0 , 015 0,015 0,014 0,015 2 0 , 014 0,013 0,013 0,014 3 0 , 015 0,015 0,015 0,016 4 0 , 009 0,010 0,011 0,011 о,015 о,014 о,016 о,012 о,017 о,015 о,020 о,012 Т а б л и ц а 5 Адгезия проводников к алюмооксидной подложке в зависимости от количества циклов вжигания при 850°С в течение 10 мин Величина адгезии к поверхности подложки,и, кгс/см2 Состав Количество циклов вжигания, шт. 15 Данные не приводятся Прототип 1 167 t70 179 186 2 158 161 174 3 164 166 143 158 206 183 198 186 176 183 190 196 165 176 209 ТЇ4 187 1669316 Т а б л и ц а 6 Электрофизические параметры проводников после вжигания пасты в инертной атмосфере при 900 С в течение 10 мчн Состав Удельное поверхностное электросопротивление, р„ , Ом/П Адгезия проводника к поверхности подложки из алюмооксидЇІОЙ керамики, (j, кгс/см 2 Прототип хорошая ! 0,013 207 2 0,011 204 3 0,012 203 4 Редактор С.Савина 0,047 0,009 201 Составитель Э.Абдула-Заде Техред Л.Сердюкова Корректор Л.Пилипенко Заказ 3142/ДСП Гнраж 182 Подписное В Н Ш Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР И И 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.„ д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101

Додаткова інформація

Назва патенту англійською

Electrically conducting paste

Автори англійською

Dovbnia Volodymyr Oleksandrovych, Hryshaieva Svitlana Mykolaivna, Volkov Valentyn Ivanovych, Brahin Volodymyr Petrovych, Kovaliova Olena Vasylivna

Назва патенту російською

Электропроводящая паста

Автори російською

Довбня Владимир Александрович, Гришаева Светлана Николаевна, Волков Валентин Иванович, Брагин Владимир Петрович, Ковалева Елена Васильевна

МПК / Мітки

МПК: B01B 1/00

Мітки: електропровідну, пасту

Код посилання

<a href="http://uapatents.com/4-11849-elektroprovidnu-pastu.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Електропровідну пасту</a>

Подібні патенти