Завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

Спосіб створення зображення, який включає нанесення на тверду поверхню плівки скла системи, яка містить миш'як, сірку та селен, локальне опромінення поверхні плівки та обробку її рідким протравлювачем, який містить етилендіамін та воду, який відрізняється тим, що в склад протравлювача додатково вносять суміш гідразингідрату та етиленгліколю, що містить 25-60 мас.% гідразингідрату при такому співвідношенні складових протравлювача, мас.%:

суміш етиленгліколю та гідразингідрату

20-45,

етилендіамін та вода

решта.

Текст

Реферат: Винахід належить до способів запису та збереження інформації, зокрема до способів травлення резистивних шарів, які використовуються в голографії. Спосіб включає нанесення на тверду поверхню плівки скла системи, яка містить миш'як, сірку та селен (As-S-Se), локальне опромінення поверхні плівки та обробку її рідким протравлювачем. При цьому протравлювач містить етилендіамін та воду, а також суміш, що містить гідразингідрат та етиленгліколь, в якій 25-60 мас.% гідразингідрату при такому співвідношенні складових протравлювача, мас.%: суміш етиленгліколю та 20-45 гідразингідрату етилендіамін решта. Використання даного винаходу забезпечує підвищення ефективності селективного травлення резистивних шарів на основі стекол системи As-S-Se. UA 113516 C2 (12) UA 113516 C2 UA 113516 C2 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Винахід належить до способів запису та збереження інформації, зокрема до способів травлення резистивних шарів халькогенідних стекол, які використовуються в голографії. Відомий спосіб створення зображення, який включає нанесення на поверхню носія фоторезисту, його локальне опромінення і обробку фоторезисту рідким протравлювачем, який містить аміносполуку і органічний розчинник диметилформамід [1]. Наявність у даному протравлювачі органічного розчинника дає змогу ефективно видаляти плівку органічного резисту, а аміносполука зв'язує в комплекси металеві домішки. Недоліком описаного способу є обмеженість застосування, оскільки він не забезпечує зняття резистивного шару на основі халькогенідного скла. Найбільш близьким за технічною суттю та результатом, який досягається, є спосіб створення зображення, який включає обробку резистивного шару халькогенідного скла протравлювачем, який містить етилендіамін, ацетон і диметилсулфоксид [ 2 ]. Описаний протравлювач дає змогу розчиняти резистивні шари халькогенідного скла AS2S3. Недоліком відомого способу є обмеженість застосування, оскільки він не забезпечує ефективного розчинення резистивних шарів стекол системи As -S-Se. Задачею винаходу є підвищення ефективності селективного травлення резистивних шарів на основі стекол системи As - S - Se. Поставлена задача вирішується таким чином, що у відомому способі створення інформації, який включає нанесення на тверду поверхню плівки скла системи, яка містить миш'як та сірку, локальне опромінення поверхні плівки та обробку її рідким протравлювачем, який містить етилендіамін та воду, згідно з винаходом, в склад протравлювача вносять додатково суміш гідразингідрату та етиленгліколю, яка містить 25 - 60 мас.% гідразингідрату при такому співвідношенні складових травника, мас.%: суміш етиленгліколю та 20-45, гідразингідрату етилендіамін та вода решта. За рахунок того, що протравлювач містить активний відновник гідразингідрат і етиленгліколь, забезпечується розчинення експонованих ділянок тонкошарового покриття зі скла системи As-S-Se. Проведено випробування запропонованого способу. Для цього на скляну підкладку методом термічного випаровування у вакуумі наносили тонкий склоподібний шар складу AS0,4S0,5Se0,1 товщиною 0,4 - 0,5 мм, після чого піддавали лазерному експонуванню. Підготовлену таким чином плівку обробляли протравлювачем, а характер та якість травлення досліджували під мікроскопом. Експериментально встановлено, що підвищення ефективності селективного травлення резистивного шару вказаного складу досягається при одночасному використанні як додаткових компонентів гідразингідрату та етиленгліколю, причому гідразингідрату у додатковій суміші має бути не менше 2 % і не більше 60 %, оскільки в першому випадку не забезпечується повне витравлення експонованого шару, а в другому зменшується контрастність за рахунок розмивання границі між експонованою і неекспонованою ділянками плівки. Кількість додаткової суміші в протравлювачі менша 20 мас.% призводить до неповного витравлення шару, а при кількості понад 45 % до зменшення контрастності зображення. Запропонованим способом було здійснено селективне травлення плівок інших сплавів системи As - S - Se у межах області склоутворення. Проведені дослідження показали, що запропонований спосіб забезпечує підвищення ефективності селективного травлення резистивних шарів на основі стекол системи As - S - Se і таким чином покращує якість створюваного зображення. Джерела інформації 1. Пресс Ф.П. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов. М., Энергия, 1978, с. 444. 2. Заявка України на винахід № 9907433 від 27.07.1999, МПК С03С 15/00; С03С 23/00. ФОРМУЛА ВИНАХОДУ Спосіб створення зображення, який включає нанесення на тверду поверхню плівки скла системи, яка містить миш'як, сірку та селен, локальне опромінення поверхні плівки та обробку її рідким протравлювачем, який містить етилендіамін та воду, який відрізняється тим, що в склад протравлювача додатково вносять суміш гідразингідрату та етиленгліколю, що містить 25-60 мас. % гідразингідрату, при такому співвідношенні складових протравлювача, мас. %: суміш етиленгліколю та 20-45, 1 UA 113516 C2 гідразингідрату етилендіамін та вода решта. Комп’ютерна верстка Д. Шеверун Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Василя Липківського, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут інтелектуальної власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 2

Дивитися

Додаткова інформація

Автори англійською

Ryhan Mykhailo Yuriiovych, Shpyrko Hryhorii Mykolaiovych

Автори російською

Риган Михаил Юрьевич, Шпирко Григорий Николаевич

МПК / Мітки

МПК: C03C 15/00, G03H 1/26, G03C 1/705, G03F 7/30

Мітки: створення, зображення, спосіб

Код посилання

<a href="http://uapatents.com/4-113516-sposib-stvorennya-zobrazhennya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Спосіб створення зображення</a>

Подібні патенти