Мікроелектронний вимірювач тиску

Мікроелектронний вимірювач тиску, який містить джерело постійної напруги, польовий транзистор, резистор і ємність, який відрізняється тим, що в нього введені друге джерело постійної напруги, два чутливих до тиску біполярних транзистори, друга ємність і другий резистор, причому перший полюс першого джерела постійної напруги з'єднаний з першим виводом першого резистора, а другий вивід першого резистора з'єднаний з базою першого чутливого до тиску біполярного транзистора, колектор якого підключений до першого ви 3 41666 4 першого чутливого до тиску біполярного транзистостійної напруги 1, резистор 2, чутливий до тиску біра, колектор якого підключений до першого виводу полярний транзистор 3 і польовий транзистор 4. першої ємності, емітера другого чутливого до тиску Паралельно емітеру і колектору чутливого до тистранзистора і затвору польового транзистора, який ку біполярного транзистора 6 підключено послідоутворює першу вихідну клему, при цьому емітер вне коло з ємності 5 і резистора 7, який з'єднаний першого чутливого до тиску біполярного транзистоз розподільною ємністю 8, джерело постійної нара з'єднаний з витоком і підкладкою польового трапруги 9. Вихід пристрою утворений затвором нзистора, а другий вивід першої ємності з'єднаний з польового транзистора 4 і загальною шиною. базою другого чутливого до тиску біполярного транМікроелектронний вимірювач тиску працює зистора і першим виводом другого резистора, а таким чином. В початковий момент часу тиск не другий вивід другого резистора з'єднаний з колектодіє на чутливі до тиску біполярні транзистори 3 і ром другого чутливого до тиску біполярного транзи6. Підвищенням напруги джерела постійної настора, першим виводом другої ємності і першим попруги 1 і джерела постійної напруги 9 до величилюсом другого джерела постійної напруги, при цьони, коли на електродах колектора чутливого до му другий полюс другого джерела постійної напруги тиску біполярного транзистора 3 і стоку польовопідключений до другого виводу другої ємності, стоку го транзистора 4 виникає від'ємний опір, який польового транзистора і другого полюса першого приводить до виникнення електричних коливань джерела постійної напруги, які утворюють загальну в контурі, який утворений паралельним включеншину, до якої підключена друга вихідна клема. ням повного опору з ємнісним характером на елеВикористання запропонованого пристрою для ктродах колектор-стік чутливого до тиску біполярвиміру тиску суттєво підвищує діапазон виміру інного транзистора 3 і польового транзистора 4 та формативного параметру як за рахунок виконання повним опором з індуктивним характером на елечутливого до тиску ємнісного елемента коливальноктродах емітер-колектор чутливого до тиску біпого контуру у вигляді біполярного і польового транзилярного транзистора 6. Ємність 8 запобігає просторів, так і чутливого до тиску індуктивного елемеходженню змінного струму через джерело постійнта коливального контуру у вигляді другого біполярної напруги 9. При наступній дії тиску на чутливі ного транзистора з послідовним колом з ємності і до тиску біполярні транзистори 3 і 6 змінюється резистора. Зміна тиску приводить до зміни ємності і як ємнісна складова повного опору на електродах індуктивності коливального контуру, а це викликає колектор-стік чутливого до тиску біполярного траефективну зміну резонансної частоти, при цьому нзистора 3 і польового транзистора 4, так і індукможлива лінеаризація функції перетворення шлятивна складова повного опору на електродах еміхом вибору величини напруги живлення. тер-колектор чутливого до тиску біполярного транНа кресленні подано схему мікроелектронного зистора 6, а це викликає зміну резонансної частовимірювача тиску. Пристрій містить джерело поти коливального контуру. Фіг. 1 ДП «Український інститут промислової власності» (Укрпатент) вул. Сім’і Хохлових, 15, м. Київ, 04119, Україна Тел.: (+38044) 456-2090 2