Механізм обертання для вакуумних установок

Номер патенту: 113185

Опубліковано: 10.01.2017

Автор: Медяний Василь Уліянович

Є ще 3 сторінки.

Дивитися все сторінки або завантажити PDF файл.

Формула / Реферат

1. Механізм обертання для вакуумних установок, який розташований у корпусі (17) вакуумної камери та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття, який відрізняється тим, що містить ведучий вал (1), не менш ніж чотири вузли обертання (2, 3, 4, 5), а обертовий пристрій виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса (8), і цей циліндричний горизонтальний каркас (8) горизонтально встановлений на чотирьох вузлах обертання (2, 3, 4, 5), які розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок (6) нижньої частини корпусу (17) вакуумної установки (16) в чотирьох різних кутах периметру циліндричного горизонтального каркаса (8), і ці чотири вузли обертання (2, 3, 4, 5) є точками опори циліндричного горизонтального каркаса (8), при цьому ведучий вал (1) розташований вздовж циліндричного горизонтального каркаса (8) в нижній частині механізму обертання та жорстко зав'язаний з не менш ніж одним із чотирьох вузлів обертання (2) для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через вузол обертання (2) до циліндричного горизонтального каркаса (8), при цьому циліндричний горизонтальний каркас (8) утворений із не менш ніж з двох кілець (9, 10), які скріплені між собою горизонтальними з'єднувальними елементами (11), які розташовані паралельно по відношенню один до одного і перпендикулярно до кілець (9, 10), крім того на внутрішніх площинах конструктивних елементів циліндричного горизонтального каркаса (8), вздовж його довжини встановлені та жорстко прикріплені не менш ніж чотири направляючих елементи (12) для встановлення або виймання в циліндричний горизонтальний каркас (8) та із нього тримачів для виробів, на які наносять покриття, і ці тримачі виконані у вигляді двох внутрішніх півциліндрів (13, 14), кожен із яких утворений із півкілець-шпангоутів (15), які з'єднані та скріплені обичайками із листового металу.

2. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що ведучий вал (1) жорстко зав'язанийз двома (2, 3) із чотирьох вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через два вузли обертання (2, 3) до циліндричного горизонтального каркаса (8).

3. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що ведучий вал (1) жорстко зав'язаний з одним (2) із чотирьох вузлів обертання та з'єднаний з додатковим ведучим валом (23), який в свою чергу жорстко зав'язаний з другим (3) із чотирьох вузлів обертання, і такі з'єднання ведучого вала (1) та додаткового ведучого вала (23) з двома вузлами обертання (2, 3) виконані для передачі обертового руху від ведучого вала (1) та від додаткового ведучого вала (23) через два вузли обертання (2, 3) до циліндричного горизонтального каркаса (8).

4. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що містить шість вузлів обертання (2, 3, 4, 5, 21, 22), а ведучий вал (1) жорстко зав'язаний з трьома (2, 3, 21) із шести вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через три вузли обертання (2, 3, 21) до циліндричного горизонтального каркаса (8).

5. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1 і за п. 4, який відрізняється тим, що кожен із вузлів обертання (2, 3, 4, 5, 21, 22) жорстко прикріплений до внутрішніх стінок (6) корпуса камери (17) вакуумної установки (16) через ізолятори (7).

6. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що кільця (9, 10) циліндричного горизонтального каркаса (8) можуть бути складеними із частин або виконані цільними.

7. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що конструкція циліндричного горизонтального каркаса (8) утворена більше ніж з двох кілець (9, 10).

8. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що горизонтальні з'єднувальні елементи (11) циліндричного горизонтального каркаса (8) розташовані та прикріплені зовні кілець (9, 10) різьбовим з'єднанням або горизонтальні з'єднувальні елементи (11) розташовані та прикріплені зсередини кілець (9, 10), з їх внутрішньої частини шляхом зварювання, при цьому горизонтальні з'єднувальні елементи (11) можуть бути виконані з труб, із металевих прутків та із інших металевих елементів.

Текст

Реферат: Механізм обертання для вакуумних установок, який розташований у корпусі вакуумної камери та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття. Він містить ведучий вал, не менш ніж чотири вузли обертання, а обертовий пристрій виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса, і цей циліндричний горизонтальний каркас горизонтально встановлений на чотирьох вузлах обертання, які розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок нижньої частини корпусу вакуумної установки. UA 113185 U (12) UA 113185 U UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Корисна модель належить до вакуумної техніки, а саме до механізму обертання для вакуумних установок. Цей механізм обертання може бути використаний в процесах нанесення покриттів на металеві листи шляхом іонно-плазмових методів нанесення покриттів. Відомий пристрій обертання для нанесення покриттів на деталі або на вироби у вакуумній камері, який розташований у вакуумній камері та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття (Патент України на корисну модель № 87404, м. кл. С23С 14/00, С23С 14/34, С23С 14/35, С23С 14/50, публ. 10.02.2014, бюл. № 3 [1]). Ця корисна модель призначення для одержання високого ступеня рівномірної товщини покриттів одночасно на усіх поверхнях збільшеної кількості об'ємних деталей або виробів у вакуумній камері вакуумної установки, але така конструкція не дозволяє досягнути більш рівномірного та однорідного нанесення покриття на всю поверхню металевих листів та/або листових деталей у вакуумній установці. Найбільш близьким до запропонованого пристрою є механізм обертання у складі пристрою для осадження багатокомпонентних покриттів, і цей механізм обертання для вакуумних установок розташований у вакуумній камері та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття (Патент України на корисну модель № 52163, м. кл. С23С 14/24, публ. 10.08.2010, бюл. № 15 [2]). Ця конструкція призначена для можливості рівномірного формування багатокомпонентних шарів покриттів із заданими складом й властивостями в одному вакуумному обсязі за один технологічний цикл одночасно на поверхні декількох виробів - деталей машин і механізмів. Але така конструкція механізму обертання не дозволяє досягнути більш рівномірного та однорідного нанесення покриття на всю поверхню металевих листів та/або листових деталей у вакуумній установці. Задачею запропонованої корисної моделі є створення механізму обертання для вакуумних установок, який би за рахунок сукупності всіх суттєвих ознак, в тому числі і за рахунок його нових ознак, таких як наявність нових конструктивних елементів, їх форми та взаємного розташування дозволив би досягнути більш рівномірного та однорідного нанесення покриття на всю поверхню металевих листів та/або листових деталей у вакуумній установці. Поставлена задача вирішується тим, що механізм обертання для вакуумних установок розташований у корпусі вакуумної камери 17 та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття. Новим є те, що механізм обертання для вакуумних установок містить ведучий вал 1, не менш ніж чотири вузли обертання 2, 3, 4, 5, а обертовий пристрій виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса 8, і цей циліндричний горизонтальний каркас 8 горизонтально встановлений на чотирьох вузлах обертання 2, 3, 4, 5, які розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок 6 нижньої частини корпусу 17 вакуумної установки 16 в чотирьох різних кутах периметру циліндричного горизонтального каркаса 8, і ці чотири вузли обертання 2, 3, 4, 5 є точками опори циліндричного горизонтального каркаса 8. При цьому ведучий вал 1 розташований вздовж циліндричного горизонтального каркаса 8 в нижній частині механізму обертання та жорстко зав'язаний з не менш ніж одним із чотирьох вузлів обертання 2 для передачі обертового руху від ведучого вала 1 через вузол обертання 2 до циліндричного горизонтального каркаса 8. При цьому циліндричний горизонтальний каркас 8 утворений із не менш ніж з двох кілець 9, 10, які скріплені між собою горизонтальними з'єднувальними елементами 11, які розташовані паралельно по відношенню один до одного і перпендикулярно до кілець 9, 10. Крім того на внутрішніх площинах конструктивних елементів циліндричного горизонтального каркаса 8, вздовж його довжини встановлені та жорстко прикріплені не менш ніж чотири направляючих елементи 12 для встановлення або виймання в циліндричний горизонтальний каркас 8 та із нього тримачів для виробів, на які наносять покриття, і ці тримачі виконані у вигляді двох внутрішніх півциліндрів 13, 14, кожен із яких утворений із півкілець-шпангоутів 15, які з'єднані та скріплені обичайками із листового металу. Додатково запропонований пристрій характеризується наступними ознаками. Ведучий вал 1 жорстко зав'язаний з двома 2, 3 із чотирьох вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала 1 через два вузли обертання 2, 3 до циліндричного горизонтального каркаса 8. Ведучий вал 1 жорстко зав'язаний з одним 2 із чотирьох вузлів обертання та з'єднаний з додатковим ведучим валом 23, який в свою чергу жорстко зав'язаний з другим 3 із чотирьох вузлів обертання, і такі з'єднання ведучого вала 1 та додаткового ведучого вала 23 з двома вузлами обертання 2, 3 виконані для передачі обертового руху від ведучого вала 1 та від додаткового ведучого вала 23 через два вузли обертання 2, 3 до циліндричного горизонтального каркаса 8. 1 UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Механізм обертання для вакуумних установок містить шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22, а ведучий вал 1 жорстко зав'язаний з трьома 2, 3, 21 із шести вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала 1 через три вузли обертання 2, 3, 21 до циліндричного горизонтального каркаса 8. Кожен із вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22 жорстко прикріплений до внутрішніх стінок 6 корпуса камери 17 вакуумної установки 16 через ізолятори 7. Кільця 9,10 циліндричного горизонтального каркаса 8 можуть бути складеними із частин або виконані цільними. Конструкція циліндричного горизонтального каркаса 8 утворена більше ніж з двох кілець 9, 10. Горизонтальні з'єднувальні елементи 11 циліндричного горизонтального каркаса 8 розташовані та прикріплені зовні кілець 9, 10 різьбовим з'єднанням або горизонтальні з'єднувальні елементи 11 розташовані та прикріплені зсередини кілець 9, 10, з їх внутрішньої частини шляхом зварювання, при цьому горизонтальні з'єднувальні елементи 11 можуть бути виконані з труб, із металевих прутків та із інших металевих елементів. Запропонований механізм обертання ілюстрований наступними зображеннями: Фіг. 1 - загальне зображення механізму обертання для вакуумних установок; Фіг. 2 - зображення механізму обертання у вакуумній установці, вигляд збоку; Фіг. 3 - зображення механізму обертання, вигляд збоку; Фіг. 4 - зображення механізму обертання у поперечному перерізі; Фіг. 5 - зображення механізму обертання у поперечному перерізі у вакуумній установці; Фіг. 6 - зображення механізму обертання з додатковим ведучим валом і з додатковими вузлами обертання. Специфікаційний перелік цифрових позицій конструктивних елементів корисної моделі та інших: 1 - ведучий вал; 2, 3, 4, 5 - вузли обертання; 6 - внутрішні стінки корпуса 17 вакуумної камери вакуумної установки 16; 7 - ізолятори; 8 - циліндричний горизонтальний каркас; 9, 10 - кільця циліндричного горизонтального каркаса 8; 11 - горизонтальні з'єднувальні елементи циліндричного горизонтального каркаса 8; 12 - направляючі елементи циліндричного горизонтального каркаса 8; 13, 14 - два внутрішніх півциліндри; 15 - півкільця-шпангоути внутрішніх півциліндрів 13, 14; 16 - вакуумна установка; 17 - корпус вакуумної камери; 18 - система газонапуску; 19 - катод; 20 - механізм регулювання положення катода 19 у корпусі 17 вакуумної камери; 21, 22 - два додаткові вузли обертання; 23 - додатковий ведучий вал. Запропонований механізм обертання у статичному стані. Механізм обертання для вакуумних установок встановлений всередині корпуса 17 вакуумної камери вакуумної установки 16 (фіг. 1-2, фіг. 5). Механізм обертання містить наступні основні конструктивні елементи: ведучий вал 1, не менш ніж чотири вузли обертання 2, 3, 4, 5 та циліндричний горизонтальний каркас 8, який є обертовим пристроєм механізму (фіг. 1-5). Циліндричний горизонтальний каркас 8 горизонтально встановлений на чотирьох вузлах обертання 2, 3, 4, 5. В окремих випадках виконання корисної моделі циліндричний горизонтальний каркас 8 горизонтально встановлений на шести вузлах обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22 (фіг. 6). У випадках, коли циліндричний горизонтальний каркас 8 горизонтально встановлений на шести вузлах обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22, додаткові вузли обертання 21 розташовані між вузлами 2 та 3, а додатковий вузол 22 розташований між вузлами 4 та 5. Всі чотири вузли обертання 2, 3, 4, 5 (або шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22) розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок 6 нижньої частини корпусу 17 вакуумної камери вакуумної установки 16 в чотирьох різних кутах периметру циліндричного горизонтального каркаса 8. Тобто чотири вузли обертання 2, 3, 4, 5 (або шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22) є точками опори циліндричного горизонтального каркаса 8. 2 UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Ведучий вал 1 розташований вздовж циліндричного горизонтального каркаса 8 в нижній частині механізму обертання та жорстко зав'язаний з не менш ніж одним із чотирьох вузлів обертання (на фіг. 1-5 показаний зв'язок ведучого вала 1 з вузлом обертання 2, або такий зв'язок ведучого вала 1 може бути здійснено з вузлом обертання 4). Ведучий вал 1 призначений для передавання обертального руху не менш ніж на один з чотирьох вузлів обертання (на вузол обертання 2 або на вузол обертання 4), який в свою чергу також передає обертальний рух циліндричному горизонтальному каркасу 8. В окремих випадках виконання корисної моделі ведучий вал 1 може бути жорстко зав'язаний з двома 2, 3 із чотирьох вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала 1 через ці два вузли обертання 2, 3 до циліндричного горизонтального каркаса 8. В такому випадку ведучий вал 1 виконаний більш довгим, ніж показано на фіг. 1-5. Також в окремих випадках виконання корисної моделі, механізм обертання містить як ведучий вал 1, так і додатковий ведучий вал 23, які з'єднані між собою (фіг. 6). В такому випадку виконання механізму обертання ведучий вал 1 жорстко зав'язаний з одним 2 із чотирьох вузлів обертання, а додатковий ведучий вал 23 в свою чергу жорстко зав'язаний з другим 3 із чотирьох вузлів обертання. Відповідно такі з'єднання ведучого вала 1 та додаткового ведучого вала 23 з двома вузлами обертання 2, 3 виконані для передачі обертового руху від ведучого вала 1 та від додаткового ведучого вала 23 через два вузли обертання 2, 3 до циліндричного горизонтального каркаса 8. В окремих випадках виконання корисної моделі механізм обертання може містить шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22. При цьому ведучий вал 1 жорстко зав'язаний з трьома 2, 3, 21 із шести вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала 1 через три вузли обертання 2, 3, 21 до циліндричного горизонтального каркаса 8. Шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22, де присутні два додаткові вузли обертання 21, 22 використовують у випадку, як що корпус 17 вакуумної камери вакуумної установки 16 має довжину, наприклад - 4 метри, що є довшим, ніж конструкція з чотирма вузлами обертання, яка може бути довжиною, наприклад 1,5 метра, при дожині корпуса 17 вакуумної камери - 1,87 метра. І, відповідно, в такому випадку, коли циліндричний горизонтальний каркас 8 механізму обертання виконаний більш довгим ніж 1,5 метра можливе використання шести вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22. В усіх випадках виконання корисної моделі з'єднання ведучого вала 1 та вузлів обертання 2, або 2 та 3, або 2, 3 та 21 виконане дуже щільним за допомогою фланцевого скручування або за допомогою шліцьового з'єднання. Кожен із вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22 може бути жорстко прикріплений до внутрішніх стінок 6 корпуса 17 вакуумної камери вакуумної установки 16 через ізолятори 7 (фіг. 1, фіг. 4-5). Ізолятори 7 здійснюють функцію діелектричної розв'язки між механізмом обертання та корпусом 17 вакуумної камери вакуумної установки 16. Циліндричний горизонтальний каркас 8 утворений із не менш ніж з двох кілець 9, 10 (фіг. 15). В різних випадках виконання механізму обертання кільця 9, 10 циліндричного горизонтального каркаса 8 можуть бути складеними із частин або виконані цільними. Також в різних випадках виконання механізму обертання, конструкція циліндричного горизонтального каркаса 8 може бути утворена з більш ніж двох кілець 9, 10, наприклад - з трьох або з чотирьох і більше кілець 9, 10. Використання більшої кількості кілець 9, 10 здійснюють у випадку, якщо корпус 17 вакуумної камери вакуумної установки 16 виконаний більш довгими ніж 1,5 метра, наприклад довжиною 4 метри, і, відповідно, циліндричний горизонтальний каркас 8 механізму обертання також виконаний більш довгим. Кільця 9, 10 скріплені між собою горизонтальними з'єднувальними елементами 11 (фіг. 1-5), які розташовані паралельно по відношенню один до одного і перпендикулярно до кілець 9, 10. При цьому ці горизонтальні з'єднувальні елементи 11 циліндричного горизонтального каркаса 8 розташовані та прикріплені до кілець 9, 10 по всій їх окружності. У різних випадках виконання механізму обертання горизонтальні з'єднувальні елементи 11 циліндричного горизонтального каркаса 8 можуть бути розташовані та прикріплені зовні кілець 9, 10 різьбовим з'єднанням. В інших випадках виконання механізму обертання горизонтальні з'єднувальні елементи 11 можуть бути розташовані та прикріплені зсередини кілець 9, 10, з їх внутрішньої частини шляхом зварювання. При цьому горизонтальні з'єднувальні елементи 11 циліндричного горизонтального каркаса 8 можуть бути виконані з труб, із металевих прутків та із інших металевих елементів. Кількість горизонтальних з'єднувальних елементів 11 циліндричного горизонтального каркаса 8 може складати, наприклад, 16 (шістнадцять) одиниць і більше. 3 UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 Всередині циліндричного горизонтального каркаса 8, на внутрішніх площинах конструктивних елементів циліндричного горизонтального каркаса 8, вздовж його довжини встановлені та жорстко прикріплені не менш ніж чотири направляючих елементи 12 (фіг. 1-5). Ці направляючі елементи 12 призначені для зручного і точного встановлення або виймання в циліндричний горизонтальний каркас 8 та із нього тримачів для виробів, на які наносять покриття. Тримачі виконані у вигляді двох внутрішніх півциліндрів 13, 14 (фіг. 1, фіг. 4-5), кожен із яких утворений із півкілець-шпангоутів 15, які з'єднані та скріплені обичайками із листового металу. Кожен з двох внутрішніх півциліндрів 13, 14 призначений для встановлення на нього деталей (металевих листів), на які здійснюють нанесення покриття у вакуумній установці 16. Два внутрішніх півциліндри 13, 14 із деталями (металевими листами), на які здійснюють нанесення покриття, у робочому стані розташовані і закріплені всередині циліндричного горизонтального каркаса 8. Кожен з двох внутрішніх півциліндрів 13, 14 за допомогою направляючих елементів 12 може бути висунутий із циліндричного горизонтального каркаса 8 для монтажу/демонтажу деталей (металевих листів), на які здійснюють нанесення покриття у вакуумній установці 16. Для передавання обертального руху від електричного двигуна (на кресленнях не показаний) до провідного ведучого вала 1 загальна конструкція вакуумної установки 16 містить електропривід, який з'єднаний з передавальним вузлом з електричної розв'язкою (на кресленнях не показані). Від електроприводу через передавальний вузол з електричної розв'язкою передається обертальний рух на ведучий вал 1 механізму обертання для вакуумних установок. Електропривід є електромеханічною системою, до складу якої входять електричні, механічні, електронні вузли; складається з електричного двигуна, електронного перетворювача електричної енергії та системи автоматичного управління. Електропривід та передавальний вузол з електричної розв'язкою не є конструктивними елементами корисної моделі, що заявляється, і на кресленнях не показані. Конструкція механізму обертання для вакуумних установок розташована у копусі 17 вакуумної камери вакуумної установки 16, яка в свою чергу містить систему газонапуску 18, катод 19, механізм регулювання 20 положення катода 19 у корпусі 17 вакуумної камери та інші конструктивні елементи (фіг. 1, фіг. 4-5). Зазначені - система газонапуску 18, катод 19, механізм регулювання 20 положення катода 19 не є конструктивними елементами механізму обертання для вакуумних установок, що заявляється. Запропонований механізм обертання для вакуумних установок експлуатують наступним чином. Механізм обертання у складі вакуумної установки 16 використовують для здійснення обертання у корпусі 17 вакуумної камери металевих листів, на який необхідно нанести покриття шляхом випарювання частинок металів або сплавів з поверхні катода 19. Перед початком роботи механізму обертання у складі вакуумної установки 16 один з двох внутрішніх півциліндрів 13 висувають по направляючих елементах 12 із циліндричного горизонтального каркаса 8. На внутрішню площину внутрішнього півциліндра 13 встановлюють металевий лист, на який необхідно нанести покриття шляхом випарювання частинок металів або сплавів з поверхні катода 19 та шляхом напилювання на поверхню металевого листа. Металевий лист жорстко і нерухомо фіксують у внутрішньому півциліндрі 13 затискачами (на кресленнях не показані). Внутрішній півциліндр 13 задвигають по направляючих елементах 12 всередину циліндричного горизонтального каркаса 8, де внутрішній півциліндр 13 також жорстко і нерухомо фіксують до циліндричного горизонтального каркаса 8. Після цього циліндричний горизонтальний каркас 8 перевертають навколо власної осі на 180° і здійснюють такі самі дії по встановленню другого металевого листа на внутрішню площину другого внутрішнього півциліндра 14, і далі всередину циліндричного горизонтального каркаса 8 механізму обертання по направляючих елементах 12 задвигають і фіксують другий внутрішній півциліндр 14 з другим металевим листом, на який необхідно нанести покриття шляхом випарювання частинок металів або сплавів з поверхні катода 19 та напилювання на поверхню металевого листа. Далі вакуумну камеру вакуумної установки 16 щільно зачиняють і, виконуючи всі необхідні технологічні дії, активують її дію. В процесі роботи вакуумної установки 16 механізм обертання забезпечує стабільне обертання циліндричного горизонтального каркаса 8 разом із двома внутрішніми півциліндрами 13, 14, на яких закріплені металеві листи, на які необхідно нанести покриття. Від електроприводу через передавальний вузол з електричної розв'язкою передається обертальний рух на ведучий вал 1 механізму обертання. Від ведучого вала 1 обертальний рух передається на не менш ніж на один вузол обертання 2 або на вузол обертання 4. Далі обертання циліндричного горизонтального каркаса 8 відбувається за рахунок передачі 4 UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 обертального руху від одного із вузлів обертання 2 або 4 на поверхню кілець 9, 10 циліндричного горизонтального каркаса 8. В окремих випадках виконання механізму обертання від ведучого вала 1 обертальний рух передається на два вузли обертання 2, 3 або на два вузли обертання 4, 5 через додатковий ведучий вал 23, який з'єднаний з ведучим валом 1, або від ведучого вала 1 обертальний рух передається на два вузли обертання 2, 3 або 4, 5 без додаткового ведучого вала 23, лише від ведучого вала 1 (який в такому випадку є довшим, ніж коли обертовий рух передається лише на один вузол обертання). Також в окремих випадках виконання механізму обертання від ведучого вала 1 обертальний рух передається на три вузли обертання 2, 3, 21 або на три вузли обертання 4, 5, 22 - у випадку, коли у складі механізму обертання встановлені шість вузлів обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22. Розташування циліндричного горизонтального каркаса 8 на одному горизонтальному рівні на усіх чотирьох вузлах обертання 2, 3, 4, 5, або в окремих випадках на шести вузлах обертання 2, 3, 4, 5, 21, 22, забезпечує концентричне розташування осі обертання циліндричного горизонтального каркаса 8 разом із жорстко зафіксованими двома внутрішніми півциліндрами 13, 14 стосовно осьового розташування катода 19 у корпусі 17 вакуумної камери, що забезпечує досягнення технічного результату, а саме - досягнення більш рівномірного та однорідного нанесення покриття на всю поверхню металевих листів у вакуумній установці. Водночас із цим механізм регулювання 20 положення катода 19 у корпусі 17 вакуумної камери дозволяє здійснювати більш точне розташування положення катода 19 стосовно осі обертання циліндричного горизонтального каркаса 8 разом із жорстко зафіксованими двома внутрішніми півциліндрами 13, 14. При цьому система газонапуску 18 у корпус 17 вакуумної камери налаштовується і встановлюється таким чином, щоб не заважати процесу обертання під час роботи всієї вакуумної установки 16. Після звершення процесу напилювання частинок металів або сплавів з поверхні катода 19 на поверхні металевого листа, роботу вакуумної установки 16 зупиняють. Обертання механізму обертання зупиняється, корпус 17 вакуумної камери відчиняють, кожен з двох внутрішніх півциліндрів 13, 14 по направляючих елементах 12 почергово висувають із циліндричного горизонтального каркаса 8. Готові вироби - листи металу, на які нанесено покриття, демонтують із двох внутрішніх півциліндрів 13, 14. Наявність та оригінальність ведучого вала 1, не менш ніж чотирьох вузлів обертання 2, 3, 4, 5 та обертового пристрою, який виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса 8, їх взаємне розташування та взаємне з'єднання, де циліндричний горизонтальний каркас 8 розташований на усіх чотирьох вузлах обертання 2, 3, 4, 5, які розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок 6 нижньої частини корпусу 17 вакуумної установки 16 в чотирьох різних кутах периметру циліндричного горизонтального каркаса 8, і ці чотири вузли обертання 2, 3,4, 5 є точками опори циліндричного горизонтального каркаса 8, забезпечує концентричне розташування осі обертання циліндричного горизонтального каркаса 8 разом із жорстко зафіксованими двома внутрішніми півциліндрами 13, 14 стосовно осьового розташування катода 19 у корпусі 17 вакуумної камери. Таке взаємне розташування та взаємне з'єднання зазначених елементів дозволяє під час обертового руху механізму обертання досягти найбільш точної, стабільної та рівномірної відстані від площин металевих листів, на які здійснюють покриття, до поверхонь катода 19, з яких відбувається напилювання на ці металеві листи. Виконання конструкції циліндричного горизонтального каркаса 8 із не менш ніж з двох кілець 9, 10, які скріплені між собою горизонтальними з'єднувальними елементами 11, які розташовані паралельно по відношенню один до одного і перпендикулярно до кілець (9, 10, дозволяє забезпечити цій конструкції жорсткості та стабільності руху під час обертання, що в свою чергу забезпечує точну, стабільну та рівномірну відстань від площин металевих листів, на які здійснюють покриття, до поверхонь катода 19, з яких відбувається напилювання на ці металеві листи. Наявність не менш ніж чотирьох направляючих елементів 12 в сукупності із виконанням тримачів для виробів, на які наносять покриття, у вигляді двох внутрішніх півциліндрів 13, 14), де кожен з них утворений із півкілець-шпангоутів 15, які з'єднані та скріплені обичайками із листового металу, дозволяє підвищити зручність і точність встановлення або виймання в циліндричний горизонтальний каркас 8 та із нього цих двох внутрішніх півциліндрів 13, 14, на які встановлюють вироби (металеві листи), на які наносять покриття. Сукупність усіх ознак запропонованого механізму обертання для вакуумних установок, в тому числі його нові ознаки, такі як - нові конструктивні елементи, їх взаємозв'язок та взаєморозташування, дозволяють досягти технічного результату, а саме - досягти більш 5 UA 113185 U 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 рівномірного та однорідного нанесення покриття на всю поверхню металевих листів та/або листових деталей у вакуумній установці. Конструкція запропонованого механізму обертання для вакуумних установок зручна у експлуатації - в механізм обертання достатньо легко і зручно встановлюються і після нанесення покриття демонтуються металеві листи. Цей пристрій є також безпечним для обслуговуючого персоналу. Промислову здатність механізму обертання для вакуумних установок, виготовленого у промислових умовах, показали широкі випробування, які підтвердили ефективність його експлуатації при нанесенні покриттів у вакуумі електродуговим випарником металів та сплавів. Цей пристрій може бути використаним в процесах нанесення покриттів у вакуумі на металеві листи та/або на листові деталі, він є промислово придатним, високоефективним при використанні. Виробництво запропонованого пристрою дозволяє поширити асортимент засобів для внутрішнього оснащення камер вакуумних установок. Джерела інформації: 1. Патент України на корисну модель № 87404, м. кл. С23С 14/00, С23С 14/34, С23С 14/35, С23С 14/50, публ. 10.02.2014, бюл. № 3. 2. Патент України на корисну модель № 52163, м. кл. С23С 14/24, публ. 10.08.2010, бюл. № 15 - прототип. ФОРМУЛА КОРИСНОЇ МОДЕЛІ 1. Механізм обертання для вакуумних установок, який розташований у корпусі (17) вакуумної камери та містить обертовий пристрій з тримачами для виробів, на які наносять покриття, який відрізняється тим, що містить ведучий вал (1), не менш ніж чотири вузли обертання (2, 3, 4, 5), а обертовий пристрій виконаний у вигляді циліндричного горизонтального каркаса (8), і цей циліндричний горизонтальний каркас (8) горизонтально встановлений на чотирьох вузлах обертання (2, 3, 4, 5), які розташовані на одному горизонтальному рівні та жорстко прикріплені до внутрішніх стінок (6) нижньої частини корпусу (17) вакуумної установки (16) в чотирьох різних кутах периметру циліндричного горизонтального каркаса (8), і ці чотири вузли обертання (2, 3, 4, 5) є точками опори циліндричного горизонтального каркаса (8), при цьому ведучий вал (1) розташований вздовж циліндричного горизонтального каркаса (8) в нижній частині механізму обертання та жорстко зав'язаний з не менш ніж одним із чотирьох вузлів обертання (2) для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через вузол обертання (2) до циліндричного горизонтального каркаса (8), при цьому циліндричний горизонтальний каркас (8) утворений із не менш ніж з двох кілець (9, 10), які скріплені між собою горизонтальними з'єднувальними елементами (11), які розташовані паралельно по відношенню один до одного і перпендикулярно до кілець (9, 10), крім того на внутрішніх площинах конструктивних елементів циліндричного горизонтального каркаса (8), вздовж його довжини встановлені та жорстко прикріплені не менш ніж чотири направляючих елементи (12) для встановлення або виймання в циліндричний горизонтальний каркас (8) та із нього тримачів для виробів, на які наносять покриття, і ці тримачі виконані у вигляді двох внутрішніх півциліндрів (13, 14), кожен із яких утворений із півкілецьшпангоутів (15), які з'єднані та скріплені обичайками із листового металу.2. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що ведучий вал (1) жорстко зав'язаний з двома (2, 3) із чотирьох вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через два вузли обертання (2, 3) до циліндричного горизонтального каркаса (8). 3. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що ведучий вал (1) жорстко зав'язаний з одним (2) із чотирьох вузлів обертання та з'єднаний з додатковим ведучим валом (23), який в свою чергу жорстко зав'язаний з другим (3) із чотирьох вузлів обертання, і такі з'єднання ведучого вала (1) та додаткового ведучого вала (23) з двома вузлами обертання (2, 3) виконані для передачі обертового руху від ведучого вала (1) та від додаткового ведучого вала (23) через два вузли обертання (2, 3) до циліндричного горизонтального каркаса (8). 4. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що містить шість вузлів обертання (2, 3, 4, 5, 21, 22), а ведучий вал (1) жорстко зав'язаний з трьома (2, 3, 21) із шести вузлів обертання для передачі обертового руху від ведучого вала (1) через три вузли обертання (2, 3, 21) до циліндричного горизонтального каркаса (8). 5. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1 і за п. 4, який відрізняється тим, що кожен із вузлів обертання (2, 3, 4, 5, 21, 22) жорстко прикріплений до внутрішніх стінок (6) корпуса камери (17) вакуумної установки (16) через ізолятори (7). 6 UA 113185 U 5 10 6. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що кільця (9, 10) циліндричного горизонтального каркаса (8) можуть бути складеними із частин або виконані цільними. 7. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що конструкція циліндричного горизонтального каркаса (8) утворена більше ніж з двох кілець (9, 10). 8. Механізм обертання для вакуумних установок за п. 1, який відрізняється тим, що горизонтальні з'єднувальні елементи (11) циліндричного горизонтального каркаса (8) розташовані та прикріплені зовні кілець (9, 10) різьбовим з'єднанням або горизонтальні з'єднувальні елементи (11) розташовані та прикріплені зсередини кілець (9, 10), з їх внутрішньої частини шляхом зварювання, при цьому горизонтальні з'єднувальні елементи (11) можуть бути виконані з труб, із металевих прутків та із інших металевих елементів. 7 UA 113185 U 8 UA 113185 U Комп’ютерна верстка Л. Бурлак Державна служба інтелектуальної власності України, вул. Василя Липківського, 45, м. Київ, МСП, 03680, Україна ДП “Український інститут інтелектуальної власності”, вул. Глазунова, 1, м. Київ – 42, 01601 9

Дивитися

Додаткова інформація

МПК / Мітки

МПК: C23C 14/00, C23C 14/35, C23C 14/34

Мітки: вакуумних, механізм, обертання, установок

Код посилання

<a href="http://uapatents.com/11-113185-mekhanizm-obertannya-dlya-vakuumnikh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентів України">Механізм обертання для вакуумних установок</a>

Подібні патенти